[發(fā)明專利]一種用于大型真空鍍膜機(jī)工件掛板傳送的頂?shù)讬C(jī)械手

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011259388.9
• 申請(qǐng)日: 2020-11-11
• 公開（公告）號(hào): CN112410748A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志榮;陸創(chuàng)程;陳思;李運(yùn)俊;馮曉庭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東匯成真空科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 44104
• 代理人: 周克佑;何秋林

一種用于大型真空鍍膜機(jī)工件掛板傳送的頂?shù)讬C(jī)械手，其包括頂機(jī)械手和底機(jī)械手，它們分別作用在工件掛板的頂、底從而配合夾緊工件掛板，兩機(jī)械手均由一個(gè)以上的傳送單元構(gòu)成，所述傳送單元由動(dòng)力組件、直線模組和運(yùn)動(dòng)組件組成；所述動(dòng)力組件與所述直線模組相連，所述運(yùn)動(dòng)組件安裝在所述直線模組上，所述動(dòng)力組件為所述直線模組提供動(dòng)力，驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)組件做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述運(yùn)動(dòng)組件包括運(yùn)動(dòng)組件支架，還包括夾緊塊安裝板、夾緊塊、真空電機(jī)、螺桿型直線模組、傾斜設(shè)置的直線導(dǎo)軌和兩直線軸承，其自身結(jié)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)其夾緊塊上升或下降，從而夾緊或松開掛板。本發(fā)明機(jī)械手控制精度高，能平穩(wěn)、可靠地完成大型多艙室真空鍍膜機(jī)內(nèi)大型掛板的傳送任務(wù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及大型真空鍍膜機(jī)內(nèi)，特別是多艙配置的大型真空鍍膜機(jī)內(nèi)，負(fù)責(zé)完成大型工件掛板自動(dòng)傳送任務(wù)的一種機(jī)械手。

背景技術(shù)

真空鍍膜設(shè)備的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)，一是提高產(chǎn)能和效率，二是提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。為提高產(chǎn)能和效率，設(shè)備設(shè)計(jì)越來(lái)越大，裝載量越來(lái)越多，單個(gè)工件掛具(多個(gè)工件掛裝在掛具上一起完成鍍膜)也越大越重；為提高膜層質(zhì)量和穩(wěn)定性，除了引入鍍膜新技術(shù)、新工藝外，一個(gè)最基本的要求是控制好爐內(nèi)鍍膜氣氛穩(wěn)定不變，也就是要保證每爐爐內(nèi)殘留氣體降低至最少并保持一致性不變。為此，最有效手段是每爐鍍膜包括裝卸工件都在真空中進(jìn)行不破真空，這樣各爐次都在同樣真空環(huán)境下進(jìn)行鍍膜，爐內(nèi)氣氛不因破真空受大氣污染，可保持爐間殘留氣氛的一致性，這樣膜層質(zhì)量和一致性都會(huì)大大提高。因此，近年來(lái)真空鍍膜設(shè)備發(fā)展方面，一方面大型化，一方面是多艙化。

多艙配置時(shí)，其中鍍膜工藝艙室始終保持真空狀態(tài)，它通過(guò)真空閥門與進(jìn)料艙和出料艙連接，在真空狀態(tài)下工件從進(jìn)料艙送入工藝艙(鍍膜工藝艙室的簡(jiǎn)稱)，鍍膜工藝完成后，再在真空狀態(tài)下把工件移出到出料艙。設(shè)備的大型化，使裝掛工件的掛具數(shù)量多，掛具體積大，裝掛上工件后的掛具重量很重。這些掛具在真空狀態(tài)下傳送轉(zhuǎn)艙，必須靠機(jī)械手完成。

為適應(yīng)當(dāng)前真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展趨勢(shì)，研制真空機(jī)械手是當(dāng)務(wù)之急。因?yàn)檎婵斟兡C(jī)的鍍膜工件材質(zhì)、大小、形狀各異，所用工件掛具的大小、形狀、數(shù)量也不同，另外，不同型號(hào)真空鍍膜機(jī)的預(yù)備艙(主要指進(jìn)料倉(cāng)和出料倉(cāng))、過(guò)渡艙(用于連通進(jìn)、出料倉(cāng)與工藝艙)和工藝艙的設(shè)計(jì)也會(huì)不同，與之適應(yīng)的掛具的傳送方式也會(huì)有不同，因此機(jī)械手的動(dòng)作和功能不盡相同，故機(jī)械手的設(shè)計(jì)五花八樣。對(duì)于爐內(nèi)可掛二十多塊大尺寸、重量重的矩形平板式掛具(掛具尺寸300mmx1500mmx35mm，掛滿工件時(shí)，重40kg左右)的大型真空鍍膜設(shè)備，目前還沒有能完成工件掛板自動(dòng)傳送任務(wù)的機(jī)械手。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的發(fā)明目的是，提供一種用于大型多艙室真空鍍膜機(jī)內(nèi)大型掛板傳送的機(jī)械手。

本發(fā)明的發(fā)明目的通過(guò)如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種用于大型真空鍍膜機(jī)工件掛板傳送的頂?shù)讬C(jī)械手，其包括頂機(jī)械手和底機(jī)械手，它們分別作用在工件掛板的頂、底從而配合夾緊工件掛板，兩機(jī)械手均由一個(gè)以上的傳送單元構(gòu)成，所述傳送單元由動(dòng)力組件、直線模組和運(yùn)動(dòng)組件組成；

所述動(dòng)力組件與所述直線模組相連，所述運(yùn)動(dòng)組件安裝在所述直線模組上，所述動(dòng)力組件為所述直線模組提供動(dòng)力，驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)組件做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)；

所述運(yùn)動(dòng)組件包括運(yùn)動(dòng)組件支架，其搭載著整個(gè)運(yùn)動(dòng)組件，其包括連為一體的支架底板、支架上板和兩側(cè)板，所述運(yùn)動(dòng)組件還包括夾緊塊安裝板、夾緊塊、真空電機(jī)、螺桿型直線模組、傾斜設(shè)置的直線導(dǎo)軌和兩直線軸承；