[發(fā)明專利]半導(dǎo)體晶圓電子坐標(biāo)圖與墨點(diǎn)的識(shí)別方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011259231.6
• 申請(qǐng)日: 2020-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN113380651A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張連鵬;崔巖;宋洪影;谷麗波;韓立萍;李琳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林瑞能半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L29/861
• 代理公司: 吉林新發(fā)惠利知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22216
• 代理人: 紀(jì)尚

1.半導(dǎo)體晶圓電子坐標(biāo)圖與墨點(diǎn)的識(shí)別方法，其特征在于，包括以下步驟：

a.拍照：將硅片放在無塵紙上，硅片下方標(biāo)明硅片編碼，照相需要在硅片的正上方，硅片照片的電子格式留存；

b.制作EXCEL網(wǎng)格圖：打開對(duì)應(yīng)硅片編碼的文件，將硅片的測(cè)試原始數(shù)據(jù)使用EXCEL制作出圓形的網(wǎng)格圖，并將此網(wǎng)格圖轉(zhuǎn)換為圖片的格式；

c.使用制圖工具，制作對(duì)比圖:將步驟a中的硅片照片旋轉(zhuǎn)，建立基準(zhǔn)，使每行的晶粒水平對(duì)齊；

d.疊加圖片：在制圖軟件上將步驟b中的圖片格式的網(wǎng)格圖與步驟c中的硅片照片重合，通過變形工具調(diào)整，先調(diào)整基準(zhǔn)晶粒重合，使硅片照片的劃邊線和網(wǎng)格圖的劃邊線重合；

e.數(shù)算步驟d中重合圖片中墨點(diǎn)網(wǎng)格重合的數(shù)量，并將計(jì)算結(jié)果存儲(chǔ)，并合成圖片，作為識(shí)別和追溯憑證。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓電子坐標(biāo)圖與墨點(diǎn)的識(shí)別方法，其特征在于，所述步驟b中，硅片的測(cè)試原始數(shù)據(jù)為采用txt文本格式，制作出圓形的網(wǎng)格圖時(shí)將測(cè)試原始數(shù)據(jù)中的每個(gè)“·”、“0”“1”按照原順序依次復(fù)制到excel的表格中，一個(gè)數(shù)據(jù)一個(gè)單元格，調(diào)整表格尺寸，長(zhǎng)寬一致，得到圓形的網(wǎng)格圖。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓電子坐標(biāo)圖與墨點(diǎn)的識(shí)別方法，其特征在于，為了辨識(shí)準(zhǔn)確，將所述表格中的“·”、“0”“1”分別替換為“藍(lán)色的框”、“紅色的框”、“空格”。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的半導(dǎo)體晶圓電子坐標(biāo)圖與墨點(diǎn)的識(shí)別方法，其特征在于，所述步驟e中的結(jié)果為：紅色的框?yàn)樽詣?dòng)設(shè)備測(cè)試去除的缺陷晶粒，黑點(diǎn)是人手動(dòng)點(diǎn)掉的缺陷晶粒，紅色的框帶黑點(diǎn)是雙方都點(diǎn)掉的缺陷晶粒。