[發明專利]一種MEMS芯片裝片用治具

在審

• 申請號: 202011254105.1
• 申請日: 2020-11-11
• 公開（公告）號: CN112338832A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 侯友良
• 申請（專利權）人: 無錫紅光微電子股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;B81C99/00
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云

本發明提供了一種MEMS芯片裝片用治具，其固定效果更好，有效防止該MEMS芯片易翹曲、移位，提高了裝片的成品率。其包括治具本體，所述治具本體包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于與機臺連接的安裝部，所述固定部呈中部鏤空的矩形框，其特征在于：所述固定部內部設有朝所述固定部鏤空位置延伸的壓針，所述壓針與所述MEMS芯片的線框間隙相對應。

技術領域

本發明涉及MEMS芯片裝配工裝夾具的技術領域，具體為一種MEMS芯片裝片用治具。

背景技術

MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的縮寫，也稱為微機電系統，微機電系統是集信號處理和控制電路、高性能電子集成器件等于一體的微型器件或系統?，F有的MEMS芯片在裝片時，MEMS芯片的底部使用吸真空固定，其上方再使用與機臺連接的專用治具下壓，由于該治具中部鏤空，通過使用該治具的框架型四邊將MEMS芯片壓住，然而由于機臺震動，導致吸真空不穩定，且框架型治具無法將MEMS芯片固定穩定，導致該MEMS芯片易翹曲、移位，從而導致裝片的成品率低。

發明內容

針對現有的MEMS芯片裝片用治具固定效果差，易導致MEMS芯片翹曲、移位，從而導致成品率低的問題，本發明提供了一種MEMS芯片裝片用治具，其固定效果更好，有效防止該MEMS芯片易翹曲、移位，提高了裝片的成品率。

其技術方案是這樣的：一種MEMS芯片裝片用治具，其包括治具本體，所述治具本體包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于與機臺連接的安裝部，所述固定部呈中部鏤空的矩形框，其特征在于：所述固定部內部設有活動連接的朝鏤空位置延伸的壓針，所述壓針與所述MEMS芯片的線框間隙相對應；

其進一步特征在于：所述固定部的一側橫邊上設有活動槽，所述活動槽內部設有活動連接的、且朝所述固定部鏤空位置延伸的壓針，所述壓針數量為三個；

所述活動槽內部對應所述壓針位置處設有螺桿，所述壓針的端部設有與所述螺桿的螺紋相對應的內螺紋，所述螺桿下端貫穿所述活動槽與所述壓針的端部螺紋連接。

采用了上述結構后，由于該治具的固定部設有活動連接的朝鏤空位置延伸的壓針，且壓針與MEMS芯片的線框間隙對應，通過壓針將該MEMS芯片進一步固定，則固定更加穩定，可以有效防止MEMS芯片翹曲，從而方便在MEMS芯片上安裝電子元件，提高了成品率，同時該壓針位置可以調整，可以適應不同規格的MEMS芯片焊接，提高了適用性。

附圖說明

圖1為本發明整體結構示意圖；

圖2為本發明和MEMS芯片的主視圖；

圖中：1、治具本體；11、固定部；111、活動槽；112、壓針；113、螺桿；12、安裝部；2、MEMS芯片。

具體實施方式

如圖1和圖2所示，一種MEMS芯片裝片用治具，包括治具本體1，治具本體1包括用于固定MEMS芯片2的固定部11和用于與機臺連接的安裝部12，該固定部11呈中部鏤空的矩形框，固定部11靠近MEMS芯片2端部一側的橫邊上設有活動槽111，該活動槽111的長度略小于固定部11橫邊的長度，活動槽111的內部設有活動連接的、且朝固定部11鏤空位置延伸的壓針112，該壓針112與MEMS芯片2的線框間隙相對應。具體的，該活動連接方式為，活動槽111內部對應壓針112位置處設有螺桿113，壓針112的端部設有與螺桿113的螺紋相對應的內螺紋，螺桿113下端貫穿活動槽111與壓針112的端部螺紋連接。

安裝部12通過連接臂與固定部11連接，該安裝部12呈矩形安裝片，所述矩形安裝片上設有并列的腰形孔，通過該腰形孔與原機臺固定連接，通過機臺控制該治具的上、下移動。

優選的，上述壓針112的數量為三個。三個壓針112的下壓效果最好，且成本最低。