[發明專利]一種MEMS芯片裝片用治具在審
| 申請號： | 202011254105.1 | 申請日： | 2020-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN112338832A | 公開（公告）日： | 2021-02-09 |
| 發明（設計）人： | 侯友良 | 申請（專利權）人： | 無錫紅光微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顧吉云 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 芯片 裝片用治具 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS芯片裝片用治具，其包括治具本體，所述治具本體包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于與機臺連接的安裝部，所述固定部呈中部鏤空的矩形框，其特征在于：所述固定部內部設有活動連接的朝鏤空位置延伸的壓針，所述壓針與所述MEMS芯片的線框間隙相對應。
2.根據權利要求1所述的一種MEMS芯片裝片用治具，其特征在于：所述固定部的一側橫邊上設有活動槽，所述活動槽內部設有活動連接的、且朝所述固定部鏤空位置延伸的壓針，所述壓針數量為三個。
3.根據權利要求2所述的一種MEMS芯片裝片用治具，其特征在于：所述活動槽內部對應所述壓針位置處設有螺桿，所述壓針的端部設有與所述螺桿的螺紋相對應的內螺紋，所述螺桿下端貫穿所述活動槽與所述壓針的端部螺紋連接。
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