[發(fā)明專利]一種三維存儲器及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011249304.3
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN112331655B
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設計）人: 趙利俊;吳振國;陸聰;宋之洋;軒攀登
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L27/11519
• 分類號: H01L27/11519;H01L27/11524;H01L27/11556;H01L27/11565;H01L27/1157;H01L27/11582
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 尹秀

1.一種三維存儲器，其特征在于，包括：

層疊的存儲堆疊結(jié)構(gòu)和連接結(jié)構(gòu)，其中，所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中具有多個第一溝道孔和多個第一虛設溝道孔，其中，所述第一溝道孔具有存儲功能，所述第一虛設溝道孔不具有存儲功能，所述連接結(jié)構(gòu)中具有多個第一位線接觸孔，所述第一位線接觸孔與所述第一溝道孔對接；

貫穿所述連接結(jié)構(gòu)，并延伸至所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中的多個柵線縫隙，所述多個柵線縫隙包括：多個第一柵線縫隙和至少一個第二柵線縫隙，所述第一柵線縫隙平行于第一方向，所述第二柵線縫隙平行于第二方向，所述第二方向與所述第一方向垂直；

其中，所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)包括多個指狀結(jié)構(gòu)，所述第一方向平行于所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中所述指狀結(jié)構(gòu)的延伸方向；

所述指狀結(jié)構(gòu)包括存儲區(qū)和信號傳輸區(qū)；

所述指狀結(jié)構(gòu)包括至少一個半指狀結(jié)構(gòu)，所述信號傳輸區(qū)包括至少一個子信號傳輸區(qū)，所述子信號傳輸區(qū)與所述半指狀結(jié)構(gòu)一一對應；

所述半指狀結(jié)構(gòu)包括：在所述第一方向上，位于所述第二柵線縫隙一側(cè)的第一存儲子平面以及位于所述第二柵線縫隙另一側(cè)的第二存儲子平面；

所述子信號傳輸區(qū)包括：在所述第一方向上，位于所述第二柵線縫隙一側(cè)的第一子信號傳輸區(qū)、位于所述第二柵線縫隙另一側(cè)的第二子信號傳輸區(qū)以及連接所述第一子信號傳輸區(qū)和所述第二子信號傳輸區(qū)的信號連接區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲器，其特征在于，在所述第一方向上，所述第二柵線縫隙位于所述第一虛設溝道孔所在區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲器，其特征在于，還包括：貫穿所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中所述信號傳輸區(qū)的至少一個選通開關(guān)縫隙，所述指狀結(jié)構(gòu)被所述至少一個選通開關(guān)縫隙分割成至少兩個半指狀結(jié)構(gòu)，所述至少兩個半指狀結(jié)構(gòu)沿所述第二方向排布。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維存儲器，其特征在于，所述指狀結(jié)構(gòu)包括在所述第二方向上相鄰的第一半指狀結(jié)構(gòu)和第二半指狀結(jié)構(gòu)，所述第一半指狀結(jié)構(gòu)的信號連接區(qū)和所述第二半指狀結(jié)構(gòu)的信號連接區(qū)通過所述選通開關(guān)縫隙相鄰。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維存儲器，其特征在于，所述第一半指狀結(jié)構(gòu)的信號連接區(qū)在所述第二方向上的寬度取值范圍為110nm-150nm，包括端點值；

所述第二半指狀結(jié)構(gòu)的信號連接區(qū)在所述第二方向上的寬度取值范圍為110nm-150nm，包括端點值。

6.一種三維存儲器的制作方法，其特征在于，包括：

制作存儲堆疊結(jié)構(gòu)，所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中具有多個第一溝道孔和多個第一虛設溝道孔，其中，所述第一溝道孔具有存儲功能，所述第一虛設溝道孔不具有存儲功能；

在所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)上方形成連接結(jié)構(gòu)，所述連接結(jié)構(gòu)中具有多個第一位線接觸孔，所述第一位線接觸孔與所述第一溝道孔對接；

形成貫穿所述連接結(jié)構(gòu)，并延伸至所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中的多個柵線縫隙，所述多個柵線縫隙包括：多個第一柵線縫隙和至少一個第二柵線縫隙，所述第一柵線縫隙平行于第一方向，所述第二柵線縫隙平行于第二方向，所述第二方向垂直于所述第一方向；

其中，所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)包括多個指狀結(jié)構(gòu)，所述第一方向平行于所述存儲堆疊結(jié)構(gòu)中所述指狀結(jié)構(gòu)的延伸方向；

所述指狀結(jié)構(gòu)包括存儲區(qū)和信號傳輸區(qū)；

所述指狀結(jié)構(gòu)包括至少一個半指狀結(jié)構(gòu)，所述信號傳輸區(qū)包括至少一個子信號傳輸區(qū)，所述子信號傳輸區(qū)與所述半指狀結(jié)構(gòu)一一對應；

所述半指狀結(jié)構(gòu)包括：在所述第一方向上，位于所述第二柵線縫隙一側(cè)的第一存儲子平面以及位于所述第二柵線縫隙另一側(cè)的第二存儲子平面；

所述子信號傳輸區(qū)包括：在所述第一方向上，位于所述第二柵線縫隙一側(cè)的第一子信號傳輸區(qū)、位于所述第二柵線縫隙另一側(cè)的第二子信號傳輸區(qū)以及連接所述第一子信號傳輸區(qū)和所述第二子信號傳輸區(qū)的信號連接區(qū)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作方法，其特征在于，在所述第一方向上，所述第二柵線縫隙位于所述第一虛設溝道孔所在區(qū)域。