[發明專利]標準單元的檢測方法和生成方法、介質、及設備

在審

• 申請號: 202011247041.2
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN112347735A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 薛明達
• 申請（專利權）人: 成都海光微電子技術有限公司
• 主分類號: G06F30/398
• 分類號: G06F30/398;G06F30/39
• 代理公司: 上海知錦知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31327
• 代理人: 段潔汝

1.一種標準單元的檢測方法，其特征在于，包括：

基于待檢測的標準單元的邊界層確定檢測版圖，所述檢測版圖包括與所述待檢測的標準單元的邊界層相對應的邊界層，以及以邊界層為基準設置的檢測圖形；所述檢測圖形依據所述標準單元的設計規則設置；

基于所述檢測版圖對所述待檢測的標準單元進行檢測，得到檢測結果。

2.根據權利要求1所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述檢測版圖中的檢測圖形的設置方式包括：以所述邊界層的位置為基準，確定所述檢測版圖中的標準單元區域內圖形，所述標準單元區域內圖形對應于所述待檢測的標準單元內的圖形；

所述基于所述檢測版圖對所述待檢測的標準單元進行檢測，得到檢測結果包括：

比較所述檢測版圖與所述待檢測標準單元的物理版圖，得到比較結果；根據所述比較結果確定對所述待檢測標準單元的所述檢測結果。

3.根據權利要求2所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述標準單元區域內圖形包括金屬的圖形以及注入層的圖形中至少一種，所述根據所述比較結果確定對所述待檢測標準單元的檢測結果包括：若所述標準單元區域內圖形與所述待檢測的標準單元的物理版圖中圖形完全重合，則所述檢測結果為通過檢測，否則為未通過檢測。

4.根據權利要求2所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述標準單元區域內圖形包括管腳區域圖形，所述根據所述比較結果確定對所述待檢測標準單元的檢測結果包括：若所述標準單元區域內的管腳圖形未落入所述檢測版圖中的管腳區域圖形以外的區域，則所述檢測結果為通過，否則為未通過檢測。

5.根據權利要求1所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述檢測版圖中的檢測圖形的設置方式包括：以所述邊界層的位置為基準，確定所述檢測版圖中的區域外虛擬圖形，所述區域外虛擬圖形為對所述待檢測的標準單元區域外的圖形的模擬；

所述基于所述檢測版圖對所述待檢測的標準單元進行檢測，得到檢測結果包括：

拼接所述待檢測的標準單元的版圖與所述檢測版圖中的區域外虛擬圖形，驗證是否滿足設計規則；若滿足設計規則，則所述檢測結果為通過檢測，否則為未通過檢測。

6.根據權利要求1所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述檢測版圖中的檢測圖形的設置方式包括：以所述邊界層的位置為基準，確定檢測版圖中檢測圖形的坐標。

7.根據權利要求1所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述基于待檢測的標準單元的邊界層確定檢測版圖包括：根據模板庫確定與所述待檢測的標準單元匹配的所述檢測版圖，所述模板庫中包括一種或多種標準單元的所述檢測版圖的模板。

8.根據權利要求7所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，根據模板庫確定與所述待檢測的標準單元匹配的檢測版圖包括：

根據所述待檢測的標準單元的邊界層的尺寸從所述模板庫中確定與其匹配的所述檢測版圖的模板；

基于所述檢測版圖的模板確定所述待檢測的標準單元的檢測版圖。

9.根據權利要求8所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述待檢測的標準單元的邊界層的高度為所述與其匹配的檢測版圖模板高度的整數倍，所述基于所述檢測版圖模板確定所述待檢測的標準單元的檢測版圖包括：整合所述整數倍的數量的所述檢測版圖模板，得到所述檢測版圖。

10.根據權利要求1所述的標準單元的檢測方法，其特征在于，所述基于待檢測的標準單元的邊界層確定檢測版圖之前，還包括，確定所述待檢測的標準單元的邊界層的尺寸符合標準單元的設計規則。

11.一種標準單元的生成方法，其特征在于，包括如權利要求1至10任一項所述的標準單元檢測方法。