[發明專利]一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器及制造方法

有效

• 申請號: 202011246726.5
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN112414615B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 張燕亮;張曙堅;金波;張林偉
• 申請（專利權）人: 寧波中車時代傳感技術有限公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00;G01L5/00
• 代理公司: 寧波市鄞州盛飛專利代理事務所(特殊普通合伙) 33243
• 代理人: 毛凱

1.一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器，其特征在于，包括：

接頭；

燒結基座，所述燒結基座安裝在所述接頭內，且所述燒結基座底面與所述接頭之間設有緩沖件；

焊接座，所述焊接座下端外側設置有絕緣座，并通過該絕緣座安裝在所述燒結基座內；

壓力芯體，所述壓力芯體安裝在所述焊接座上端；

線路板，所述線路板與所述壓力芯體電連接；

所述接頭內設置有內腔，且所述接頭下部設置有導流孔與所述內腔連通，所述燒結基座下端設置有導管，所述導管設置在所述導流孔內，所述燒結基座與所述導管上設有連通的通孔；

所述絕緣座包括絕緣墊層和絕緣側層，所述燒結基座上設有容腔，所述絕緣墊層設置在所述焊接座的底部與所述容腔的底部之間，所述絕緣側層設置在所述焊接座的側邊與所述容腔的側邊之間；

所述絕緣墊層設為陶瓷環，所述絕緣側層設為燒結玻璃，所述燒結基座與所述焊接座上均設置有環形槽，所述環形槽錯位分布，所述燒結玻璃嵌入所述環形槽內。

2.據權利要求1所述的一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器，其特征在于，所述緩沖件設置為O型橡膠圈，所述內腔的底面上設置有定位槽，所述O型橡膠圈安裝在所述定位槽內，所述燒結基座底面與所述O型橡膠圈相接。

3.據權利要求1所述的一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器，其特征在于，還包括外接部和鍵合線，所述鍵合線一端與所述壓力芯體相接，另一端與所述線路板相接，所述外接部用于所述線路板與外界部件的電氣連接。

4.據權利要求1所述的一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器，其特征在于，所述線路板扣壓在所述接頭內。

5.一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器的制造方法，其特征在于，包括步驟：

S1：選取陶瓷環和玻璃，將陶瓷環和玻璃安裝至燒結基座內；

S2：將焊接座下端安裝至陶瓷環和玻璃之間，并高溫加工玻璃，形成燒結玻璃；

S3：將壓力芯體焊接至焊接座上端；

S4：將燒結基座安裝至接頭內，并與接頭焊接固定；

S5：將線路板扣壓至接頭內，并選取鍵合線，將鍵合線一端連接到壓力芯體上，另一端連接到線路板上；

S6：在接頭上加工形成外接部。

6.據權利要求5所述的一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器的制造方法，其特征在于，所述接頭內加工有定位槽，所述定位槽內設有O型橡膠圈，當所述燒結基座安裝至所述接頭內時，所述燒結基座與所述O型橡膠圈抵接。

7.據權利要求5所述的一種耐超高電壓濺射薄膜壓力變送器的制造方法，其特征在于，在步驟S1之前，分別加工形成接頭、燒結基座以及焊接座。