[發(fā)明專利]顯示面板的制備方法及顯示面板

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• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN112420617A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/84
• 分類號: H01L21/84;H01L27/12;G06K9/00;G09F9/33;G09F9/35
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 高楊麗

1.一種顯示面板的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S10：提供襯底基板；

S11：在所述襯底基板上制備驅(qū)動電路層，其中，所述驅(qū)動電路層包括至少兩個薄膜晶體管，依次沉積并蝕刻形成圖案化的所述薄膜晶體管的有源層、第一柵極層、第二柵極層以及層間介質(zhì)層，并在所述薄膜晶體管對應(yīng)位置上蝕刻并形成多個第一過孔結(jié)構(gòu)；

S12：在所述驅(qū)動電路層上沉積并刻蝕形成圖案化的第一電極層，并在所述第一電極層上制備第一平坦化層，在所述第一平坦化層上蝕刻形成多個第二過孔結(jié)構(gòu)，并在所述第一平坦化層上沉積并蝕刻形成第二電極層；

S13：在所述第二電極層上制備第一鈍化層，在所述第一鈍化層一側(cè)蝕刻形成第一開口，并在所述第一開口對應(yīng)區(qū)域內(nèi)制備指紋識別模組；

S14：在所述第一鈍化層上制備第二鈍化層，并在所述第一鈍化層和第二鈍化層上蝕刻形成第三過孔結(jié)構(gòu)，在所述第二鈍化層和所述指紋識別模組上沉積氧化銦錫膜層；

S15：在所述第二鈍化層上沉積第二平坦化層，在所述第二平坦化層上沉積像素定義層，并在所述像素定義層的一側(cè)蝕刻形成第二開口，在所述第二開口區(qū)域內(nèi)蝕刻并形成第四過孔結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述步驟S11中，所述薄膜晶體管包括第一薄膜晶體管和第二薄膜晶體管，將所述第一薄膜晶體管的第二柵極層設(shè)置在所述第一薄膜晶體管的第一柵極層的一側(cè)，將所述第二薄膜晶體管的第二柵極層設(shè)置在所述第二薄膜晶體管的第一柵極層的正上方對應(yīng)位置處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第一薄膜晶體管的第二柵極層設(shè)置在所述第一薄膜晶體管和所述第二薄膜晶體管之間區(qū)域內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第一電極層包括所述薄膜晶體管的源極和漏極，所述源極和漏極通過所述第一過孔與所述有源層電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述步驟S13中，所述指紋識別模組包括第一膜層、第二膜層和第三膜層；

在所述第一開口對應(yīng)的所述第二電極層上沉積所述第一膜層，并使所述第一膜層的兩側(cè)延伸至所述第一開口區(qū)域外；

在所述第一膜層上沉積所述第二膜層，并在所述第二膜層上沉積所述第三膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，所述第二鈍化層的高度小于所述指紋識別模組的高度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，還包括步驟：

在所述第二開口內(nèi)沉積第三電極層；

在所述第三電極層上沉積發(fā)光層；

在所述發(fā)光層上沉積封裝層。

8.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板包括：

襯底基板；

驅(qū)動電路層，所述驅(qū)動電路層設(shè)置在所述襯底基板上，所述驅(qū)動電路層包括至少兩個薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層、第一柵極層、第二柵極層、第一過孔以及層間介質(zhì)層；

第一電極層，所述第一電極層設(shè)置在所述驅(qū)動電路層上，所述第一電極層通過所述第一過孔與所述有源層電連接；

第一平坦化層，所述第一平坦化層設(shè)置在所述第一電極層上，所述第一平坦化層上還設(shè)置有多個第二過孔；

第二電極層，所述第二電極層設(shè)置在所述第一平坦化層上，且所述第二電極通過所述第二過孔與所述第一電極層電連接；以及

鈍化層，所述鈍化層設(shè)置在所述第二電極層上；

其中，所述鈍化層的一側(cè)設(shè)置有第一開口，所述第一開口對應(yīng)設(shè)置在所述第二電極層上，且所述第一開口內(nèi)設(shè)置有指紋識別模組，所述指紋識別模組通過所述第二電極層與所述驅(qū)動電路層電連接；所述第二柵極層與所述第一電極層形成一電容結(jié)構(gòu)；

所述指紋識別模組被配置成用以接收光迅號并產(chǎn)生光生載流子，所述電容結(jié)構(gòu)被配置成用以存儲所述光生載流子，所述驅(qū)動電路層開啟時，所述驅(qū)動電路層將所述電容結(jié)構(gòu)內(nèi)存儲的電荷輸出，并實現(xiàn)指紋識別。