[發(fā)明專利]LED封裝方法及LED封裝裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011242384.X | 申請日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN112366180A | 公開(公告)日: | 2021-02-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳來成;劉衛(wèi)夢;華聰聰;徐劍峰 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江清華柔性電子技術(shù)研究院 |
| 主分類號: | H01L21/84 | 分類號: | H01L21/84;H01L33/62;H01L27/12;H01L27/15 |
| 代理公司: | 上海波拓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264 | 代理人: | 邊曉紅 |
| 地址: | 314006 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | led 封裝 方法 裝置 | ||
本發(fā)明公開一種LED封裝方法及LED封裝裝置,該LED封裝方法包括以下步驟:提供顯示驅(qū)動背板,顯示驅(qū)動背板上設(shè)有多個開關(guān)元件和多個過孔;在顯示驅(qū)動背板上形成導(dǎo)電層;在導(dǎo)電層上形成光刻膠層,并將光刻膠層進(jìn)行圖案化處理;對導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,從而在過孔內(nèi)形成導(dǎo)電凸點(diǎn);去除導(dǎo)電凸點(diǎn)上的光刻膠層;將LED元件的電極與導(dǎo)電凸點(diǎn)對位連接,從而將LED元件電性連接至開關(guān)元件。本LED封裝方法及LED封裝裝置中,通過在顯示驅(qū)動背板上設(shè)置導(dǎo)電凸點(diǎn),可以批量地封裝微型LED,工藝簡單,效果高,可實(shí)現(xiàn)微型LED的高效巨量封裝,生產(chǎn)良率較高。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及LED封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種LED封裝方法及LED封裝裝置。
背景技術(shù)
微型LED技術(shù)是指以高密度集成在基板上的小尺寸LED陣列。高質(zhì)量的微型LED將對已經(jīng)投放市場的傳統(tǒng)顯示產(chǎn)品(如LCD/OLED)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響。盡管最近已經(jīng)顯示出可以批量生產(chǎn)尺寸為幾十微米(μm)的LED片,但是當(dāng)使用電流拾取技術(shù)時,難以拾取微型LED(μLED)芯片以將其放到PCB上。除此之外,芯片的尺寸越小,連接焊盤的面積越小。因此,需要一種將微型LED芯片安裝在PCB的幾微米位置上的技術(shù),使用當(dāng)前技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的將微型LED芯片安裝在顯示面板上。例如,生產(chǎn)4K UHD顯示面板需要大約2500萬個微型LED,即使以99.99%(100ppm)的成品率進(jìn)行管理,也需要進(jìn)行2500次返工,并且目前無法實(shí)現(xiàn)一種技術(shù)來移除以幾十微米間隔安裝的微型LED芯片并再次單獨(dú)地安裝它。
一種微型LED的制備方法中,通過以下步驟實(shí)現(xiàn):S01、形成導(dǎo)電接觸器陣列;S02、固定第一絲印網(wǎng)板,第一絲印網(wǎng)板上的若干個通孔與導(dǎo)電接觸器一一對應(yīng);S03、將第一包覆體填充在導(dǎo)電接觸器的周圍;S04、將RGB芯片組放置于固晶材料上,完成固晶;S05、將第二絲印網(wǎng)板固定于第一絲印網(wǎng)板上,第二絲印網(wǎng)板上的通孔與第一絲印網(wǎng)板上的通孔一一對應(yīng);S06、將第二包覆體填充在的RGB芯片組周圍,烘烤固化;S07、將第三絲印網(wǎng)板固定于第二絲印網(wǎng)板上,第三絲印網(wǎng)板上的通孔與第二絲印網(wǎng)板上的通孔一一對應(yīng);S08、將保護(hù)層覆蓋RGB芯片組和第二包覆體,烘烤固化保護(hù)層;S09、移除第一絲印網(wǎng)板、第二絲印網(wǎng)板和第三絲印網(wǎng)板,即可得到多個微型LED發(fā)光器件。然而,該微型LED的制備方法中,使用的固晶機(jī)焊頭吸取芯片的精度范圍在±10μm,對于在幾十微米甚至更小尺寸的微型LED來說對位難度較大,固晶過程中的高溫有可能會使導(dǎo)電接觸器熔融導(dǎo)致正負(fù)極的短路。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可高效、批量封裝LED且良率較高的LED封裝方法及LED封裝裝置。
本發(fā)明提供一種LED封裝方法,包括以下步驟:
提供顯示驅(qū)動背板,所述顯示驅(qū)動背板上設(shè)有多個開關(guān)元件,所述顯示驅(qū)動背板上還開設(shè)有多個過孔;
在所述顯示驅(qū)動背板上形成導(dǎo)電層;
在所述導(dǎo)電層上形成光刻膠層,并將所述光刻膠層進(jìn)行圖案化處理,圖案化處理后的所述光刻膠層僅剩余所述過孔位置的所述光刻膠層,其余位置的所述光刻膠層被去除;
對所述導(dǎo)電層進(jìn)行刻蝕,從而在所述過孔內(nèi)形成導(dǎo)電凸點(diǎn);
去除所述導(dǎo)電凸點(diǎn)上的所述光刻膠層;
將LED元件的電極與所述導(dǎo)電凸點(diǎn)對位連接,從而將所述LED元件電性連接至所述開關(guān)元件。
其中一實(shí)施例中,所述顯示驅(qū)動背板包括基板、柵極金屬層、由所述柵極金屬層形成的柵極、有源層、源極和漏極,所述柵極和所述有源層間隔絕緣設(shè)置,所述源極和所述漏極間隔設(shè)置,且所述源極和所述漏極分別和所述有源層接觸,所述源極通過與所述柵極金屬層電性連接實(shí)現(xiàn)與所述柵極的電性連接。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江清華柔性電子技術(shù)研究院,未經(jīng)浙江清華柔性電子技術(shù)研究院許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011242384.X/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





