[發明專利]LED封裝方法及LED封裝裝置在審
| 申請號: | 202011242384.X | 申請日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN112366180A | 公開(公告)日: | 2021-02-12 |
| 發明(設計)人: | 陳來成;劉衛夢;華聰聰;徐劍峰 | 申請(專利權)人: | 浙江清華柔性電子技術研究院 |
| 主分類號: | H01L21/84 | 分類號: | H01L21/84;H01L33/62;H01L27/12;H01L27/15 |
| 代理公司: | 上海波拓知識產權代理有限公司 31264 | 代理人: | 邊曉紅 |
| 地址: | 314006 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | led 封裝 方法 裝置 | ||
1.一種LED封裝方法,其特征在于,包括以下步驟:
提供顯示驅動背板(61),所述顯示驅動背板(61)上設有多個開關元件,所述顯示驅動背板(61)上還開設有多個過孔;
在所述顯示驅動背板(61)上形成導電層(64);
在所述導電層(64)上形成光刻膠層(65),并將所述光刻膠層(65)進行圖案化處理,圖案化處理后的所述光刻膠層(65)僅剩余所述過孔位置的所述光刻膠層(65),其余位置的所述光刻膠層(65)被去除;
對所述導電層(64)進行刻蝕,從而在所述過孔內形成導電凸點;
去除所述導電凸點上的所述光刻膠層(65);
將LED元件(69)的電極與所述導電凸點對位連接,從而將所述LED元件(69)電性連接至所述開關元件。
2.如權利要求1所述的LED封裝方法,其特征在于,所述顯示驅動背板(61)包括基板(611)、柵極金屬層(613)、由所述柵極金屬層(613)形成的柵極(615)、有源層(617)、源極(619)和漏極(623),所述柵極(615)和所述有源層(617)間隔絕緣設置,所述源極(619)和所述漏極(623)間隔設置,且所述源極(619)和所述漏極(623)分別和所述有源層(617)接觸,所述源極(619)通過與所述柵極金屬層(613)電性連接實現與所述柵極(615)的電性連接。
3.如權利要求1所述的LED封裝方法,其特征在于,所述過孔包括多個第一過孔(625)和多個第二過孔(627),每組所述第一過孔(625)和所述第二過孔(627)對應設置一個所述開關元件;所述導電凸點包括多個第一導電凸點(642)和多個第二導電凸點(644),所述第一過孔(625)和所述第二過孔(627)內分別形成所述第一導電凸點(642)和所述第二導電凸點(644);所述LED元件(69)的數量為多個,每個所述LED元件(69)包括第一電極(692)和第二電極(694),每個所述LED元件(69)的所述第一電極(692)和所述第二電極(694)分別與所述第一導電凸點(642)和所述第二導電凸點(644)對位,并將各所述LED元件(69)的所述第一電極(692)和所述第二電極(694)與一組所述第一導電凸點(642)和所述第二導電凸點(644)分別連接在一起。
4.如權利要求1所述的LED封裝方法,其特征在于,在所述對導電層(64)進行刻蝕,從而在過孔內形成導電凸點的步驟中,去除未覆蓋有所述光刻膠層(65)的所述導電層(64),而保留有所述光刻膠層(65)覆蓋的所述導電層(64)。
5.如權利要求1所述的LED封裝方法,其特征在于,在所述將LED元件(69)的電極與所述導電凸點對位,并將所述LED元件(69)的所述電極與所述導電凸點連接在一起,從而將所述LED元件(69)電性連接至所述開關元件的步驟中,具體包括:提供臨時轉移基板(67),所述LED元件(69)附著在所述臨時轉移基板(67)上,將所述臨時轉移基板(67)與所述顯示驅動背板(61)對位貼合,使所述LED元件(69)的所述電極和與所述導電凸點對位,并將所述LED元件(69)的所述電極與所述導電凸點連接在一起。
6.如權利要求5所述的LED封裝方法,其特征在于,所述臨時轉移基板(67)上還設有應力緩沖層(672),所述LED元件(69)附著在所述應力緩沖層(672)上。
7.如權利要求5所述的LED封裝方法,其特征在于,所述LED封裝方法還包括步驟:移除所述臨時轉移基板(67)。
8.如權利要求1所述的LED封裝方法,其特征在于,將LED元件(69)的所述電極與所述導電凸點連接在一起時,通過調控溫度將所述電極與所述導電凸點焊接在一起。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





