[發(fā)明專利]顯示設(shè)備和制造顯示設(shè)備的方法

在審

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• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112786664A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金宰范;金明鎬;孫暻錫;李承俊;李昇憲;林俊亨
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 嚴(yán)芬;康泉

本申請公開了一種顯示設(shè)備和制造顯示設(shè)備的方法。該顯示設(shè)備包括：基板；基板上的第一有源層；第一有源層上的第一絕緣層；第一絕緣層上的第一柵電極，第一柵電極與第一有源層重疊；第一柵電極上的第二絕緣層；第二絕緣層上的第二有源層；第二絕緣層上的第一電容器電極，第一電容器電極與第一柵電極重疊；第二有源層和第一電容器電極上的第三絕緣層；第三絕緣層上的第二柵電極，第二柵電極與第二有源層重疊；和第三絕緣層上的第二電容器電極，第二電容器電極與第一柵電極重疊并且電連接到第一電容器電極。

技術(shù)領(lǐng)域

實施例涉及一種包括顯示基板的顯示設(shè)備和制造顯示設(shè)備的方法，該顯示基板包括晶體管和電容器。

背景技術(shù)

顯示設(shè)備是顯示用于向用戶提供視覺信息的圖像的設(shè)備。近來，有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備在顯示設(shè)備中引起了關(guān)注。

有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備具有自發(fā)光特性，并且與液晶顯示設(shè)備不同，有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備不需要單獨(dú)的光源，從而減小了厚度和重量。有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備表現(xiàn)出諸如低功耗、高亮度和高響應(yīng)速度的高質(zhì)量特性。

通常，有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備可以包括多個像素。像素中的每個可以包括電連接到柵線和數(shù)據(jù)線的像素電路以及電連接到像素電路的有機(jī)發(fā)光元件。近來，隨著高分辨率顯示設(shè)備的發(fā)展，用于布置像素電路的空間已變得狹窄。

應(yīng)理解，本背景技術(shù)部分部分地旨在提供用于理解技術(shù)的有用背景。但是，本背景技術(shù)部分還可以包括在本文中公開的主題的相應(yīng)的有效申請日之前，不是本領(lǐng)域技術(shù)人員所已知或了解的一部分的思想、構(gòu)思或認(rèn)識。

發(fā)明內(nèi)容

實施例可以提供一種其中晶體管和電容器的特性可以被改善的顯示設(shè)備。

實施例可以提供一種制造顯示設(shè)備的方法，以減少制造成本和時間。

根據(jù)實施例的顯示設(shè)備可以包括：基板；設(shè)置在基板上的第一有源層；設(shè)置在第一有源層上的第一絕緣層；和設(shè)置在第一絕緣層上的第一柵電極，第一柵電極與第一有源層重疊。該顯示設(shè)備可以包括：設(shè)置在第一柵電極上的第二絕緣層；設(shè)置在第二絕緣層上的第二有源層；和設(shè)置在第二絕緣層上的第一電容器電極，第一電容器電極與第一柵電極重疊。該顯示設(shè)備可以包括：設(shè)置在第二有源層和第一電容器電極上的第三絕緣層；設(shè)置在第三絕緣層上的第二柵電極，第二柵電極與第二有源層重疊；和設(shè)置在第三絕緣層上的第二電容器電極，第二電容器電極與第一柵電極重疊并且電連接到第一電容器電極。

在實施例中，第一電容器電極和第二有源層可以包括相同的材料。

在實施例中，第一有源層可以包括多晶硅。

在實施例中，第二絕緣層可以包括氮化硅。

在實施例中，第二絕緣層的介電常數(shù)可以大于第三絕緣層的介電常數(shù)。

在實施例中，第二有源層和第一電容器電極可以各自包括氧化物半導(dǎo)體。

在實施例中，第三絕緣層可以包括氧化硅。

在實施例中，第三絕緣層的氫含量可以小于第二絕緣層的氫含量。

在實施例中，第二電容器電極可以不與第一電容器電極重疊。

在實施例中，第二電容器電極可以與第一電容器電極重疊。

在實施例中，該顯示設(shè)備可以進(jìn)一步包括：設(shè)置在第二柵電極和第二電容器電極上的第四絕緣層；和設(shè)置在第四絕緣層上的連接電極，連接電極將第二電容器電極和第一電容器電極電連接。

在實施例中，恒定電壓可以被施加到連接電極。

在實施例中，該顯示設(shè)備可以進(jìn)一步包括：設(shè)置在第四絕緣層上并且電連接到第一有源層的第一源電極和第一漏電極；和設(shè)置在第四絕緣層上并且電連接到第二有源層的第二源電極和第二漏電極。連接電極、第一源電極、第一漏電極、第二源電極和第二漏電極可以設(shè)置在同一層上。