[發(fā)明專利]激光劃線裝置用插補機構(gòu)及應(yīng)用插補機構(gòu)的劃線裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011237742.8
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN113319436A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金仁澤
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 李丹

本發(fā)明公開了激光劃線裝置用插補機構(gòu)及應(yīng)用插補機構(gòu)的劃線裝置，該插補機構(gòu)用于在輸送機方式的劃線裝置中調(diào)節(jié)激光束的向垂直下方向的光路，將光著點在輸送機的移送方向上進行位置調(diào)節(jié)。劃線裝置具有：輸送機亦即基板移送單元，水平移送基板；水平移動臺，向與基板的移送方向正交的方向移動；激光振蕩器，設(shè)置于水平移動臺，射出激光束；以及插補機構(gòu)，以能夠滑動的方式配置于水平移動臺，接受激光束并朝向基板向垂直下方向引導(dǎo)，調(diào)節(jié)向垂直下方向的光路，對光著點進行位置調(diào)節(jié)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對脆性基板進行分割加工的激光劃線裝置，更詳細地說，涉及一種通過激光照射的位置插補來提高劃線精度的插補機構(gòu)以及應(yīng)用所述插補機構(gòu)的劃線裝置。

背景技術(shù)

使用劃線裝置作為用于將包括玻璃基板的各種薄型脆性基板切斷為必要的尺寸的工具。劃線裝置是使用激光照射單元、劃線輪在基板表面形成劃線線條的裝置，在形成劃線線條之后，例如，能夠以劃線線條為中心向基板施加彎曲力來切斷基板。

例如，輪劃線裝置具有如下基本結(jié)構(gòu)：由控制部、支承被加工的脆性基板的平臺、水平設(shè)置于平臺的上方且在長邊方向上延伸的導(dǎo)軌、安裝成能夠沿導(dǎo)軌移動(滑動)的劃線頭、以及設(shè)置于劃線頭的下端部的劃線輪構(gòu)成。劃線輪在與脆性基板壓力接觸的狀態(tài)下行進(滾動)，從而在基板上形成劃線線條。

所述平臺能夠向Y方向(與導(dǎo)軌正交的方向)移送脆性基板、或者在將脆性基板維持為水平的狀態(tài)下以垂直的Z方向的軸為基準旋轉(zhuǎn)。此外，在導(dǎo)軌設(shè)置有拍攝形成于脆性基板的對準標記的照相機以及圖像顯示裝置等。

在具有所述結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有的劃線裝置中，如果進入導(dǎo)軌的下方的脆性基板的方向歪斜，則必須通過校正過程來對準劃線線條，在該方法中具有：移動配置有脆性基板的平臺或抓取脆性基板的卡盤來校正脆性基板的位置的方法；以及使用電掃描儀一邊校正激光束的照射位置一邊形成劃線線條的方法。

并且，所述校正方法能夠在支承脆性基板的平臺能夠旋轉(zhuǎn)運動時應(yīng)用，例如，難以在應(yīng)用了僅能夠直線運動的輸送機的裝置中應(yīng)用。

此外，電掃描儀的價格高，尤其是與劃線裝置的控制系統(tǒng)沒有兼容性，因此存在必須應(yīng)用使電掃描儀的控制程序和劃線裝置的控制程序兼容的新程序的不便。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國公開專利公報第10-2017-0083993號

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決所述問題點而作出的，其目的在于提供一種激光劃線裝置用的插補機構(gòu)及應(yīng)用所述插補機構(gòu)的激光劃線裝置，具有適合應(yīng)用于輸送機方式的劃線裝置的大小和結(jié)構(gòu)，不需要特別的追加裝備且能夠以低成本構(gòu)成，并且利于制作和維護。

此外，其目的還在于提供一種激光劃線裝置用的插補機構(gòu)及應(yīng)用所述插補機構(gòu)的劃線裝置，與使用其他控制方式時相比，不增加插補作業(yè)所需的時間而能夠進行迅速且準確的作業(yè)。

作為用于達成所述目的的課題的解決手段的本發(fā)明的劃線裝置具有：基板移送單元(例如輸送機)，一邊水平支承基板，一邊向Y方向水平移送基板；水平移動臺，位于所述基板移送單元的上方，向與基板的移送方向正交的X方向移動；激光振蕩器，設(shè)置于所述水平移動臺的一側(cè)，向X方向射出激光束；以及激光照射單元，以能夠滑動的方式設(shè)置于所述水平移動臺，接受從所述激光振蕩器射出的激光束而朝向所述基板向垂直下方向引導(dǎo)，所述激光照射單元具備插補機構(gòu)，所述插補機構(gòu)調(diào)節(jié)所述激光束的向垂直下方向的光路，以在Y方向上對映照于所述基板的光著點進行位置調(diào)節(jié)。