[發明專利]激光劃線裝置用插補機構及應用插補機構的劃線裝置

在審

• 申請號: 202011237742.8
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN113319436A
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 金仁澤
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種劃線裝置，其特征在于，具有：

基板移送單元，一邊水平支承基板，一邊向Y方向水平移送基板；

水平移動臺，位于所述基板移送單元的上方，向與Y方向正交的X方向水平移動；

激光振蕩器，設置于所述水平移動臺，向X方向射出激光束；以及

激光照射單元，以能夠滑動的方式設置于所述水平移動臺，接受從所述激光振蕩器射出的激光束而朝向所述基板向垂直下方向引導，所述激光照射單元具備插補機構，所述插補機構調節所述激光束的向垂直下方向的光路，以在Y方向上對映照于所述基板的光著點進行位置調節。

2.根據權利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，

所述激光照射單元具備以能夠滑動的方式安裝于所述水平移動臺的滑動結構體，

所述插補機構具備：

第一光路轉換部，固定于所述滑動結構體，接受從所述激光振蕩器射出的激光束，將激光束的光路向Y方向轉換；

可動框架，被所述滑動結構體支承為能夠在Y方向上進行位置調節；

位置調節單元，使所述可動框架向Y方向移動；以及

第二光路轉換部，設置于所述可動框架，與所述第一光路轉換部對應配置，通過所述位置調節單元調節所述第二光路轉換部與所述第一光路轉換部的間隔，接受經由所述第一光路轉換部的激光束，將激光束向作為與Y方向及X方向垂直的方向的Z方向而向下引導。

3.根據權利要求2所述的劃線裝置，其特征在于，

所述第一光路轉換部具備第一鏡，所述第一鏡以使入射角與射出角成為直角的方式反射所述激光束，

所述第二光路轉換部包括第二鏡，所述第二鏡以使入射角與射出角成為直角的方式反射被所述第一鏡反射的激光束。

4.根據權利要求3所述的劃線裝置，其特征在于，還包括：

拍攝部，拍攝在通過了所述水平移動臺的下方的基板的前端部的兩側標記的對準標記；以及

控制部，傳遞所述拍攝部的拍攝內容，掌握所述激光照射單元的X方向移動路線與連結所述對準標記的虛擬直線的差異，計算所述虛擬直線相對于所述移動路線的沿X方向的在Y方向上的偏差量，通過所述位置調節單元基于所述偏差量調節所述第二鏡相對于所述第一鏡的間隔。

5.根據權利要求4所述的劃線裝置，其特征在于，

所述位置調節單元具有：

伺服電機，固定于所述滑動結構體，且由所述控制部控制；

滾珠絲杠，固定于所述伺服電機的驅動軸；以及

往返塊，固定于所述可動框架，從所述滾珠絲杠接受力，使所述可動框架往返運動。

6.一種激光劃線裝置用插補機構，其特征在于，構成激光照射單元，所述激光照射單元在向Y方向水平移送基板的基板移送單元的上方以能夠滑動的方式安裝于向X方向移動的水平移動臺，將從外部向X方向入射的激光束朝向所述基板向垂直下方向引導，所述激光劃線裝置用插補機構具備：

第一光路轉換部，固定于所述激光照射單元，接受從激光振蕩器射出的激光束，將激光束的光路向Y方向轉換；

可動框架，被所述激光照射單元支承為能夠在Y方向上進行位置調節；

位置調節單元，使所述可動框架向Y方向移動；以及

第二光路轉換部，設置于所述可動框架，與所述第一光路轉換部對應配置，通過所述位置調節單元調節與所述第一光路轉換部的間隔，接受經由所述第一光路轉換部的激光束，將激光束向相對于Y方向及X方向為垂直方向的Z方向而向下引導。

7.根據權利要求6所述的激光劃線裝置用插補機構，其特征在于，

所述第一光路轉換部具備第一鏡，所述第一鏡以使入射角與射出角成為直角的方式反射所述激光束，

所述第二光路轉換部包括第二鏡，所述第二鏡以使入射角與射出角成為直角的方式反射被所述第一鏡反射的激光束。