[發明專利]拍攝裝置在審
| 申請號： | 202011237293.7 | 申請日： | 2020-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN112804420A | 公開（公告）日： | 2021-05-14 |
| 發明（設計）人： | 能丸圭司 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | H04N5/225 | 分類號： | H04N5/225;H04N5/235;B23K26/03;B23K26/04;B23K26/064;B23K26/38 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;于靖帥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拍攝 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種拍攝裝置，其對卡盤工作臺所保持的被加工物進行拍攝，其中，
該拍攝裝置具有：
照相機；
物鏡，其與該卡盤工作臺所保持的被加工物對置，在該物鏡的中央部形成有細孔；
光纖，其一端插入該物鏡的該細孔中；
光源，其按照與該光纖的另一端進行光耦合的方式配設；
分束器，其配設在該光纖的中途；
計算部，其通過該分束器將在該卡盤工作臺所保持的該被加工物上發生了反射的返回光分支，并根據分支后的該返回光而計算該被加工物的高度或厚度；以及
對焦機構，其根據該計算部所計算的值而使該物鏡的焦點對準。
2.根據權利要求1所述的拍攝裝置，其中，
該光源從由超輻射發光二極管光源、放大自發輻射光源、超連續譜光源、發光二極管光源、鹵素光源、氙光源、水銀光源、金屬鹵化物光源以及激光光源構成的組中進行選擇。
3.根據權利要求1或2所述的拍攝裝置，其中，
該計算部包含：
衍射光柵，其對返回光的分光干涉波形進行衍射；以及
圖像傳感器，其對由該衍射光柵按照每個波長而分光的光進行拍攝，
該計算部運算該圖像傳感器所生成的每個波長的光的強度而求出被加工物的高度或厚度。
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