[發(fā)明專利]一種用于微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011235984.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-09
• 公開（公告）號(hào): CN112230026B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂英飛;張旻;肖暉;郭戰(zhàn)魁;羅建強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第二十九研究所
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R31/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 李想

本發(fā)明公開了一種用于微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭，屬于微波測試的技術(shù)領(lǐng)域，該微波探頭包括：同軸電纜，所述同軸電纜的一端為自由端且該自由端設(shè)有外露的內(nèi)導(dǎo)體，另一端設(shè)有連接組件；設(shè)于同軸電纜上的彈性導(dǎo)電體，所述彈性導(dǎo)電體收納或彈出于同軸電纜，其中，當(dāng)彈性導(dǎo)電體彈出于同軸電纜時(shí)，同軸電纜通過彈性導(dǎo)電體進(jìn)行就近接地，以達(dá)到通過對(duì)微波探頭的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，以實(shí)現(xiàn)探頭的就近接地，且微波探頭可以對(duì)微系統(tǒng)局部性能進(jìn)行真實(shí)、穩(wěn)定和重復(fù)探測，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于微波測試的技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭。

背景技術(shù)

隨著微系統(tǒng)的多功能化和小型化發(fā)展，產(chǎn)品的構(gòu)成越來越復(fù)雜，集成密度越來越高。相應(yīng)的，如果產(chǎn)品在研發(fā)和生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障，則問題定位變得越來越困難。因此，迫切需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭，以實(shí)現(xiàn)問題位置的快速定位，解決系統(tǒng)故障，縮短產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)周期以及降低成本。

應(yīng)用探針臺(tái)測試系統(tǒng)可以對(duì)微系統(tǒng)局部性能進(jìn)行檢測，但是，需要在微系統(tǒng)電路板上的特定位置預(yù)設(shè)焊盤，這降低了微系統(tǒng)的集成密度，限制了系統(tǒng)設(shè)計(jì)的靈活性；同時(shí)，由于微系統(tǒng)集成元素和微組裝工藝的多樣性和差異性，電路中不同位置的測試焊盤高低水平差異較大且不可控，采用探針臺(tái)測試極易發(fā)生探針變形折斷等問題；另外，由于金屬屏蔽窄腔、級(jí)聯(lián)線纜和各種元器件的限制和遮擋，很多情況下根本無法下針測試。

手持式無源探頭由剛性探針、電纜、連接器等組成，結(jié)構(gòu)上的優(yōu)勢使其不受焊盤分布、電路表面高低起伏、屏蔽腔深度和寬度的限制，可以靈活便捷地對(duì)微系統(tǒng)的局部性能進(jìn)行檢測。但是，一方面目前市場上的手持式無源探頭均是應(yīng)用于交/直流電流信號(hào)的波形測試，裸露探針無法應(yīng)用于微波信號(hào)的頻譜測試；另一方面，由于微波信號(hào)的串?dāng)_性強(qiáng)，輻射損耗大，受寄生參數(shù)的影響大，探測傾角或位置的變化都會(huì)導(dǎo)致檢測信號(hào)發(fā)生較大改變，為保證檢測結(jié)果的真實(shí)性、穩(wěn)定性和可重復(fù)性，要求在探針的周圍設(shè)置就近接地的屏蔽層，然而目前市場上的手持式無源探頭的探測端既無屏蔽層，也無法實(shí)現(xiàn)就近接地。

當(dāng)前微系統(tǒng)的局部性能檢測還沒有很好的解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于此，為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭，通過設(shè)計(jì)組成的更改和創(chuàng)新優(yōu)化，并添加就近接地結(jié)構(gòu)，微波探頭可以對(duì)微系統(tǒng)局部性能進(jìn)行真實(shí)、穩(wěn)定和重復(fù)探測，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：一種用于微系統(tǒng)局部性能檢測的微波探頭，該微波探頭包括：

同軸電纜，所述同軸電纜的一端為自由端且該自由端設(shè)有外露的內(nèi)導(dǎo)體，另一端設(shè)有連接組件；

設(shè)于同軸電纜上的彈性導(dǎo)電體，所述彈性導(dǎo)電體收納或彈出于同軸電纜，其中，當(dāng)彈性導(dǎo)電體彈出于同軸電纜時(shí)，同軸電纜通過彈性導(dǎo)電體進(jìn)行就近接地。

進(jìn)一步地，所述同軸電纜包括呈同軸心設(shè)置的外導(dǎo)體、絕緣支撐介質(zhì)和內(nèi)導(dǎo)體，通過同軸電纜探測微波信號(hào)，能夠減小損耗和屏蔽串?dāng)_信號(hào)。

進(jìn)一步地，所述自由端通過剝離外導(dǎo)體和絕緣支撐介質(zhì)露出內(nèi)導(dǎo)體，且剝離的截面上涂覆有絕緣樹脂，以確保探測端的良好絕緣效果。

進(jìn)一步地，所述絕緣樹脂為聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚酰氨樹脂、丙烯酸樹脂、氟碳樹脂和聚酯樹脂中的一種或幾種的組合，以提升絕緣樹脂的選材靈活性。

進(jìn)一步地，所述同軸電纜設(shè)為剛性微波電纜，且同軸電纜包括水平段和垂直段，所述垂直段上設(shè)有所述彈性導(dǎo)電體，利用形變的彈性導(dǎo)電體，實(shí)現(xiàn)微波探頭就近接地。