[發明專利]一種晶圓清洗位置的監測裝置及監測方法

有效

• 申請號: 202011235545.2
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112103220B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 程圩山;陳家宏
• 申請（專利權）人: 晶芯成（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 林凡燕

本發明公開了一種晶圓清洗位置的監測裝置及監測方法，其中，所述晶圓清洗位置的監測裝置，包括：透明板，具有晶圓清洗位置的起始標記區域；透明槽，位于所述透明板上，且所述透明槽位于所述起始標記區域內；光電傳感器，與所述透明槽連接，所述光電傳感器中的光發射器位于所述透明槽的一側，所述光電傳感器中的接收器位于所述透明槽的另一側；其中，所述透明槽的底端開口、所述透明槽的頂端和周圍為封閉結構，所述透明槽的內部為中空結構，所述透明槽的底端開口與所述透明板連通。通過本發明，可降低由于肉眼觀測不夠準確，所帶來的操作誤差。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種晶圓清洗位置的監測裝置及監測方法。

背景技術

晶圓背面的清洗是晶圓涂布顯影過程中必不可少的步驟，該步驟的正常進行將能有效的降低晶圓背面的光阻沾粘，從而減少由于晶圓背面沾粘而帶來的問題。傳統的工具在調節晶圓背面的清洗位置時，是通過人為觀測晶圓上的噴涂位置來操作的，但是由于機臺的狹窄，機臺內部光線的昏暗，加上清洗液與透明晶圓顏色相近（近透明狀），不易觀測，再加上不同人的觀測角度不同，這些都會給觀測結果帶來誤差。

發明內容

鑒于上述現有技術的缺陷，本發明提出一種晶圓清洗位置的監測裝置及監測方法，通過在噴涂位置設置所述透明槽，在所述透明槽的兩側分別設置一光發射器和接收器，利用所述光電傳感器監測所述透明槽內有無水柱，來發出電信號，從而使得操作者能準確直觀得獲悉起始標記區域的位置。通過本發明，可降低由于肉眼觀測不夠準確，所帶來的操作誤差，同時本發明能精確判定晶圓清洗位置是否在預先設定的位置。

為實現上述目的及其他目的，本發明是采用如下技術方案來實現的，本發明提供一種晶圓清洗位置的監測裝置，包括：

透明板，具有晶圓清洗位置的起始標記區域；

透明槽，位于所述透明板上，且所述透明槽位于所述起始標記區域內；

光電傳感器，與所述透明槽連接，所述光電傳感器中的光發射器位于所述透明槽的一側，所述光電傳感器中的接收器位于所述透明槽的另一側；

其中，所述透明槽的底端開口，所述透明槽的頂端和周圍為封閉結構，所述透明槽的內部為中空結構，所述透明槽的底端開口與所述透明板連通。

在一實施例中，所述透明板的尺寸和形狀，與待清洗晶圓的尺寸和形狀相同。

在一實施例中，所述透明板上設有提手。所述提手的形狀為倒立的圓錐形。

在一實施例中，所述光電傳感器與所述透明槽卡合連接。

在一實施例中，所述光電傳感器的兩側壁具有貫穿孔，所述貫穿孔內具有內螺紋，所述透明槽與所述光電傳感器之間螺紋連接。

在一實施例中，所述透明槽與所述光電傳感器的兩側壁之間有間隔。

在一實施例中，所述光電傳感器為拱門狀。

在一實施例中，所述光電傳感器上設有第一信號燈和第二信號燈。

在一實施例中，所述透明槽的形狀為底端開口的正方體，底端開口的長方體或者底端開口的圓柱體。

本發明的目的還在于提供一種晶圓清洗位置的監測方法，至少包括以下步驟：

提供所述監測裝置；

通過所述光電傳感器監測所述透明槽內有無水柱，來發出電信號；

移除所述透明板，將待清洗晶圓放置在與所述透明板相同的位置；

根據所述電信號，來確定所述待清洗晶圓的清洗位置。

在一實施例中，在通過所述光電傳感器監測所述透明槽內有無水柱，來發出電信號的步驟中，