[發(fā)明專利]可調(diào)頻譜感測裝置、出平面運動馬達與其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011233795.2
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112781829A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設計）人: 許郁文
• 申請（專利權）人: 躍旺創(chuàng)新股份有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;H02N1/00
• 代理公司: 中國貿(mào)促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 曹瑾

1.一種可調(diào)頻譜感測裝置，包括：

裝置本體；

出平面運動馬達，固定于所述裝置本體上，且包括：

基座，具有法線；

傳感器，設置于所述基座上；以及

單軸致動器，固定在所述基座上，具有平行于所述法線的運動方向，且包括：

基板，具有電子組件；以及

致動端部，連接至所述基板，且由所述電子組件驅(qū)動；

第一玻璃，設置于所述致動端部上，且由所述致動端部移動；以及

第二玻璃，設置于所述裝置本體上。

2.如權利要求1所述的可調(diào)頻譜感測裝置，其中所述單軸致動器的所述基板具有前表面與后表面，且具有貫通所述前表面與所述后表面的空腔。

3.如權利要求1所述的可調(diào)頻譜感測裝置，其中所述出平面運動馬達還包括第二單軸致動器，具有平行于所述法線的運動方向。

4.如權利要求1所述的可調(diào)頻譜感測裝置，其中所述出平面運動馬達還包括第二單軸致動器、第三單軸致動器、以及第四單軸致動器，皆具有平行于所述法線的運動方向。

5.如權利要求1所述的可調(diào)頻譜感測裝置，其中所述第一玻璃及所述第二玻璃為玻璃片，所述感測器為熱電堆感測器、光偵測器、熱電堆感測器陣列、光偵測器陣列、互補式金氧半導體(CMOS)影像感測器、具有致動器的CMOS影像感測器、熱影像感測器、具有致動器的熱影像感測器及其組合其中之一，以及所述致動端部為T柱。

6.如權利要求5所述的可調(diào)頻譜感測裝置，其中所述單軸致動器還包括主鉸鏈及支點鉸鏈，所述T柱通過所述主鉸鏈及所述支點鉸鏈連接至所述基板，且所述支點彈簧用于當所述第一玻璃與所述T柱之間的連接面具有剪切力時，防止所述第一玻璃從所述T柱上脫離。

7.一種用于承載物件的出平面運動馬達，其特征在于，所述出平面運動馬達包括：

基座，具有法線方向；以及

單軸運動馬達，具有平行于所述法線方向的運動方向，固定于所述基座上，且包括用以承載并移動所述對象的單軸致動器。

8.如權利要求7所述的出平面運動馬達，所述出平面運動馬達還包括第二單軸致動器。

9.如權利要求7所述的出平面運動馬達，所述出平面運動馬達還包括第二單軸致動器、第三單軸致動器、以及第四單軸致動器。

10.如權利要求8所述的出平面運動馬達，其中各所述單軸致動器包括具有電子元件的基板。

11.如權利要求10所述的出平面運動馬達，其中所述單軸致動器還包括連接于所述基板的致動端部，所述致動端部由所述電子元件驅(qū)動以承載并移動所述物件，所述單軸致動器的所述基板具有前表面與后表面，且具有貫通所述前表面與所述后表面的空腔。

12.如權利要求11所述的出平面運動馬達，其中所述致動端部為T柱。

13.如權利要求12所述的出平面運動馬達，其中所述單軸運動馬達還包括主鉸鏈與支點鉸鏈，所述T柱通過所述主鉸鏈與所述支點鉸鏈連接至所述基板，所述支點鉸鏈用以當所述物件與所述T柱之間的連接面有剪切力施加于時，防止所述物件從所述T柱上脫離，且所述單軸致動器還包括梳狀驅(qū)動電容，所述梳狀驅(qū)動電容包含固定于所述基板的固定電極結構，以及連接至所述主鉸鏈的可動電極結構。

14.一種用以承載物件的出平面運動馬達的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括下列步驟：

提供具有法線方向的基座；

提供單軸運動馬達，具有平行于所述法線方向的運動方向，且包括單軸致動器；以及

將所述單軸運動馬達固定于所述基座上，使所述單軸致動器承載并移動所述對象。