[發(fā)明專利]可調頻譜感測裝置、出平面運動馬達與其制備方法

在審

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• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112781829A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設計）人: 許郁文
• 申請（專利權）人: 躍旺創(chuàng)新股份有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;H02N1/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 曹瑾

本公開涉及可調頻譜感測裝置、出平面運動馬達與其制備方法。本發(fā)明提供一種用于承載一對象的出平面運動馬達。出平面運動馬達包括：具有法線的基座；以及具有平行于該法線方向的運動方向的單軸運動馬達，固定于該基座上，且包括用以承載并移動該對象的單軸致動器。本發(fā)明的出平面運動馬達可以將對象保持在特定的旋轉角度、將對象定位在特定的出平面位移、或者為對象編程以執(zhí)行特定的掃描軌跡運動。出平面運動馬達還具有大的運動行程，因此不需要使用多個可調頻譜感測裝置來滿足頻譜帶寬的需求。

【相關申請案的交叉引用】

本申請案主張2019年11月7日申請的美國臨時專利申請案第62/931,926號的優(yōu)先權，其整體經(jīng)由引用被并入本文。

【技術領域】

本發(fā)明關于一種出平面運動馬達，特別關于一種包含出平面運動馬達的可調頻譜感測裝置。

【背景技術】

致動器可通過振動狀態(tài)分為共振型和非共振型。共振型致動器具有大的旋轉行程，并由垂直的梳狀結構驅動。然而，共振型致動器不能以某特定角度定位物體，這就是為什么共振型致動器總是以對稱于零偏位置的路徑運動。為了產(chǎn)生足夠的扭力來旋轉物體，驅動結構通常是物體尺寸的幾倍大，并因此導致成本增加。可調頻譜感測裝置通常使用非共振型壓電致動器，其行程很小，只有幾百納米。以可調法布立-佩羅(Fabry-Perot)為例，小行程致動器使可調法布立-佩羅難以滿足許多應用所需的頻譜帶寬，因此必須將多個法布立-佩羅組合配置成一個群組或數(shù)組，以滿足頻譜帶寬的需求。

【發(fā)明內容】

本發(fā)明揭露了一種包括出平面運動馬達的可調頻譜感測裝置，其克服了現(xiàn)有技術中的缺點。出平面運動馬達可以將對象保持在特定的旋轉角度、將對象定位在特定的出平面位移、或者為對象編程以執(zhí)行特定的掃描軌跡運動。出平面運動馬達還具有大的運動行程，因此不需要使用多個可調頻譜感測裝置來滿足頻譜帶寬的需求。

故為了達到上述之目的，本發(fā)明提供一種可調頻譜感測裝置，包括：一裝置本體；一出平面運動馬達，固定于該裝置本體上，且包括：一基座，具有一法線；一傳感器，設置于該基座上；以及一單軸致動器，固定在該基座上，具有平行于該法線的一運動方向，且包括：一基板，具有一電子組件；以及一致動端部，連接至該基板，且由該電子組件驅動；一第一玻璃，設置于該致動端部上，且由該致動端部移動；以及一第二玻璃，設置于該裝置本體上。

為了達到上述之目的，本發(fā)明再提供一種用于承載一對象的出平面運動馬達，包括：一基座，具有一法線方向；一單軸運動馬達，具有平行于該法線方向的一運動方向，固定于該基座上，且包括用以承載并移動該對象的一單軸致動器。

為了達到上述之目的，本發(fā)明又再提供一種用以承載一對象的一出平面運動馬達的制造方法，包括下列步驟：提供具有一法線方向的一基座；提供一單軸運動馬達，具有平行于該法線方向的一運動方向，且包括一單軸致動器；以及將該單軸運動馬達固定于該基座上，使該單軸致動器承載并移動該對象。

【附圖說明】

本發(fā)明的上述目的及優(yōu)點在參閱以下詳細說明及附隨圖式之后對那些所屬技術領域中的技術人員將變得更立即地顯而易見。

[圖1]是本發(fā)明的出平面運動馬達的實施例俯視圖。

[圖2]是圖1的出平面運動馬達沿A-A’方向的側剖面示意圖。

[圖3]是本發(fā)明的出平面運動馬達的另一實施例的俯視圖。

[圖4]是圖3的立體示意圖。

[圖5]是本發(fā)明的單軸致動器的示意圖。

[圖6]是本發(fā)明的單軸致動器晶圓的局部示意圖。

[圖7]是本發(fā)明的出平面運動致動器的分解圖。

[圖8]是本發(fā)明的出平面運動致動器的立體示意圖。