[發(fā)明專利]一種渦流和聲阻抗檢測傳感器及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011233452.6
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112326782B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設計）人: 林俊明;沈建中;戴永紅;張碧星;盧超;吳曉瑜;宋凱
• 申請（專利權(quán)）人: 愛德森（廈門）電子有限公司;中國科學院聲學研究所;南昌航空大學
• 主分類號: G01N27/90
• 分類號: G01N27/90;G01N29/09
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種渦流和聲阻抗檢測傳感器，其特征在于檢測傳感器(33)包括壓電晶片(334)、以及包覆于壓電晶片(334)的上金屬膜層(332)和下金屬膜層(333)，其中，所述下金屬膜層(333)設置為刻制而成的平面螺旋線狀的渦流線圈(335)，通過設置于檢測傳感器(33)的中心通孔(331)引出電連接引線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種渦流和聲阻抗檢測傳感器，其特征在于所述的檢測傳感器(33)為圓柱體結(jié)構(gòu)，通孔(331)設置于檢測傳感器(33)的中心軸位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種渦流和聲阻抗檢測傳感器，其特征在于所述的上金屬膜層(332)設置為刻制而成的平面螺旋線狀的漏磁線圈(336)。

4.一種渦流和聲阻抗檢測裝置，用于金屬和非金屬復合材料(1)中的金屬層(11)和非金屬層(12)進行無損檢測，包括檢測儀器(2)和檢測探頭(3)，其特征在于所述檢測探頭(3)包括設置于探頭外殼(31)內(nèi)、通過檢測探頭內(nèi)部中心引線(32)連接于檢測儀器(2)的檢測傳感器(33)，其中檢測傳感器(33)包括壓電晶片(334)、以及包覆于壓電晶片(334)的上金屬膜層(332)和下金屬膜層(333)，所述下金屬膜層(333)設置為刻制而成的平面螺旋線狀的渦流線圈(335)，通過設置于檢測傳感器(33)的中心通孔(331)引出電連接引線。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種渦流和聲阻抗檢測裝置，其特征在于所述的檢測傳感器(33)為圓柱體結(jié)構(gòu)，通孔(331)設置于檢測傳感器(33)的中心軸位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種渦流和聲阻抗檢測裝置，其特征在于所述的上金屬膜層(332)設置為刻制而成的平面螺旋線狀的漏磁線圈(336)。

7.一種渦流和聲阻抗檢測傳感器的制作方法，用于金屬和非金屬復合材料(1)中的金屬層(11)和非金屬層(12)進行無損檢測，其特征在于檢測傳感器(33)包括壓電晶片(334)、以及包覆于壓電晶片(334)的上金屬膜層(332)和下金屬膜層(333)，其中，所述下金屬膜層(333)設置為刻制而成的平面螺旋線狀的渦流線圈(335)，通過設置于檢測傳感器(33)的中心通孔(331)引出電連接引線，具體制作方法步驟如下：

a．制作常規(guī)壓電晶片：將薄片狀的陶瓷晶片的上下兩面鍍上金屬膜層，制作成常規(guī)的壓電晶片；

b. 金屬膜層線圈刻制：選擇使用金屬膜光刻或者金屬膜蝕刻技術(shù)，將a步驟中的金屬鍍膜雕刻成平面螺旋狀線圈；

c. 引線孔打磨：將b步驟中的形成的壓電晶片中心打磨成一小型通孔；

d. 引線制作：下表面金屬膜層雕刻的平面螺旋狀線圈的中心節(jié)點引出電連接引線。