[發明專利]一種氧化銦錫合金靶材的制備方法

在審

• 申請號: 202011233273.2
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN114436642A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 黃永香
• 申請（專利權）人: 湖南七點鐘文化科技有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉

1.一種氧化銦錫合金靶材的制備方法，包括以下步驟：

A)將氧化銦和氧化錫置于真空滾動混料機中混合，得到混合物；

B)將所述混合物抽真空后冷等靜壓，得到粗坯，將所述粗坯進行二次壓制，得到合金靶材生坯；

C)將合金靶材生坯進行真空熱壓燒結，得到氧化銦錫合金靶材粗品；

D)將所述氧化銦錫合金靶材粗品進行退火，將步驟A)的混合物等離子噴涂至退火后的氧化銦錫合金靶材粗品表面，得到氧化銦錫合金靶材。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述氧化銦和氧化錫的質量比為(6～8)：(2～4)，所述氧化銦的費氏平均粒度為1～7μm，氧化錫的費氏平均粒度為1～7μm。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中，所述冷等靜壓的壓力為10～60MPa，所述二次壓制的壓力為50～200MPa，所述合金靶材生坯的密度為相對密度98％。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟C)中，所述真空熱壓燒結在氫氣保護氛圍下進行，壓力為20～30MPa，溫度為200～300℃。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟D)中，等離子噴涂之前還包括：

將步驟A)的混合物球磨后過篩。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在所述氧化銦錫合金靶材為具有空心圓筒的靶材時，在所述混合物等離子噴涂至退火后的氧化銦錫合金靶材粗品表面后還包括：

將得到的氧化銦錫合金靶材抽真空后在惰性氣氛下將步驟A)的混合物等離子噴涂至靶材的腔體內。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟D)中，所述退火的溫度為100～300℃，時間為3～5h。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述真空滾動混料機中的真空壓力為2*10°Pa，轉速為50～80r/min。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中所述混合之后還包括：

將混合后的物料選取若干個不同的區域對氧化銦和氧化錫的含量分別進行檢測，直至各檢測點氧化銦含量和氧化錫含量比誤差均在0.01～0.3％，混合完成。

10.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中，所述抽真空之前還包括將所述混合物置于管狀的橡膠套后密封。