[發明專利]一種SAZO合金靶材的制備方法在審
| 申請號： | 202011230860.6 | 申請日： | 2020-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN114438460A | 公開（公告）日： | 2022-05-06 |
| 發明（設計）人： | 黃永香 | 申請（專利權）人： | 湖南七點鐘文化科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李偉 |
| 地址： | 410300 湖南省湘潭*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 sazo 合金 制備 方法 | ||
1.一種SAZO合金靶材的制備方法，包括以下步驟：
A)將氧化鋅、氧化錫和氧化鋁置于真空滾動混料機中混合，得到混合物；
B)將所述混合物進行真空熱壓燒結，得到SAZO合金靶材粗品；
C)將所述SAZO合金靶材粗品進行退火，再進行固化靜壓，得到SAZO合金靶材。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述氧化鋅、氧化錫和氧化鋁的質量比為(5～8)：(1～4)：(1～2)，所述氧化鋅的費氏平均粒度為1～7μm，所述氧化錫的費氏平均粒度為1～7μm，氧化鋁的費氏平均粒度為1～7μm。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述真空滾動混料機中的真空壓力為2*100Pa，轉速為50～80r/min。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中，所述真空熱壓燒結在氫氣保護氛圍下進行，壓力為20～30MPa，溫度為1800～2000℃。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟C)中，所述退火的溫度為1800～2000℃，時間為3～5h。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟C)中，所述固化靜壓的加熱溫度為100～500℃，時間為1～5min，壓力為100～300MPa。
7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱壓之后還包括依次進行的機加工和表面等離子噴涂。
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