[發明專利]內表面圖像檢查裝置

在審

• 申請號: 202011230308.7
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112858166A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 沼津匡俊
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/954
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 魏彥;洪玉姬

本申請的目的在于提供一種內表面圖像檢查裝置，能夠靈活應對內徑不同的各種檢查對象。內表面圖像檢查裝置(1)，對檢查對象的孔的內表面進行檢查，具有：攝像部(2)，鏡筒(3)，被安裝在攝像部(2)的前方，并收納有光學系統的透鏡(4、5)，光源單元(6)，能夠相對于鏡筒(3)裝卸，分光鏡(10)，將來自光源單元(6)的照明光向與光學系統的光軸平行的方向反射，筒形狀的插入部(11)，被安裝在鏡筒(3)的前端，且被插入檢查對象的孔中，反射鏡(15)，以使反射面相對于光學系統的透鏡(4、5)的光軸傾斜的方式被配置在插入部(11)的內部，以及直動機構(16)，以與光軸平行的方式移動反射鏡(15)。

技術領域

本申請涉及一種內表面圖像檢查裝置。

背景技術

對作為檢查對象的例如圓筒構件的內表面進行檢查的內表面圖像檢查裝置具有攝像部、光學系統、光源以及反射鏡，該反射鏡被設置于在檢查時被插入圓筒構件中的插入部。來自光源的照明光被反射鏡反射，并照射到圓筒構件的內表面上。在圓筒構件的內表面反射的反射光穿過光學系統而入射到攝像部，對內表面圖像進行攝像。能夠從內部圖像來檢查圓筒構件的內表面的表面特性等。

然而，光學系統分別將從物鏡(或其玻璃蓋片)到對象的距離即動作距離(WD)確定為固有值，因而需要根據圓筒構件的內徑準備動作距離WD不同的多種內表面圖像檢查裝置，或者需要具有能夠改變動作距離WD的光學系統。

發明內容

發明要解決的問題

期望獲得一種能夠靈活應對內徑不同的各種檢查對象的內表面圖像檢查裝置。

用于解決問題的手段

本公開的一形態為一種內表面圖像檢查裝置，對檢查對象的孔的內表面進行檢查。內表面圖像檢查裝置具有：攝像部，鏡筒，被安裝在攝像部的前方，且收納有光學系統，光源單元，能夠相對于鏡筒裝卸，分光鏡，將來自光源單元的照明光反射向與光學系統的光軸平行的方向反射，筒形狀的插入部，被安裝在鏡筒的前端，且被插入檢查對象的孔內，反射鏡，以使反射面相對于光學系統的光軸傾斜的方式配置在插入部的內部，以及直動機構，以與光軸平行的方式移動反射鏡。

發明的效果

根據本形態，能夠靈活應對內徑不同的各種檢查對象的檢查。

附圖說明

圖1是一實施方式的內表面圖像檢查裝置的外觀圖。

圖2是圖1的內表面圖像檢查裝置的結構圖。

圖3是示出將圖1的內表面圖像檢查裝置安裝在機器人裝置上的使用例的圖。

圖4是示出圖2的直動控制部的直動控制方法的補充圖。

圖5是示出圖1的內表面圖像檢查裝置的其他結構例的圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明的一實施方式的內表面圖像檢查裝置進行說明。本實施方式的內表面圖像檢查裝置為了對檢查對象的有底孔或通孔的內表面的表面特性等進行檢查，而獲取該內表面的圖像。在此，以圓筒構件作為檢查對象為例進行說明。