[發明專利]內表面圖像檢查裝置

在審

• 申請號: 202011230308.7
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112858166A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 沼津匡俊
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/954
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 魏彥;洪玉姬

1.一種內表面圖像檢查裝置，對檢查對象的孔的內表面進行檢查，所述內表面圖像檢查裝置的特征在于，具有：

攝像部，

鏡筒，被安裝在所述攝像部的前方，并收納有光學系統，

光源單元，能夠相對于所述鏡筒裝卸，

分光鏡，將來自所述光源單元的照明光向與所述光學系統的光軸平行的方向反射，

筒形狀的插入部，被安裝在所述鏡筒的前端，且被插入所述檢查對象的孔中，

反射鏡，以使反射面相對于所述光學系統的光軸傾斜的方式被配置在所述插入部的內部，以及

直動機構，以與所述光軸平行的方式移動所述反射鏡。

2.根據權利要求1所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

還具有直動控制部，所述直動控制部控制所述直動機構，以從所述光學系統的透鏡前表面到所述檢查對象的孔的內表面為止的距離保持恒定而與所述檢查對象的孔的內徑無關的方式，使所述反射鏡移動。

3.根據權利要求2所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述距離與所述光學系統的動作距離一致。

4.根據權利要求2所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

還具有距離傳感器，所述距離傳感器用于測量從所述光學系統的光軸到所述檢查對象的孔的內表面為止的距離或者能夠導出從所述光學系統的光軸到所述檢查對象的孔的內表面為止的距離的距離。

5.根據權利要求4所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述直動控制部隨著從所述光學系統的光軸到所述檢查對象的孔的內表面為止的距離的改變，來使所述反射鏡動態地移動。

6.根據權利要求1所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述光源單元包括遠心透鏡。

7.根據權利要求1所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述光學系統包括遠心透鏡。

8.根據權利要求1所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述反射鏡為直角棱鏡反射鏡或者相對于所述光軸傾斜45°而安裝的平面反射鏡。

9.根據權利要求1所述的內表面圖像檢查裝置，其特征在于，

所述反射鏡為錐面鏡。