[發(fā)明專利]用于修復(fù)布局違規(guī)的方法和系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN114201939A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊易霖;劉松;陳培培;林恒毅;林士堯;王錦賢
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司;臺積電（南京）有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392;G06F30/394;G06F30/398
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 陳蒙

1.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法，包括：

接收第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)；

根據(jù)所述第一布局的第一芯片特征，將所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的第一違規(guī)分類為預(yù)定義類別的第一類別；

為所述第一布局的第一芯片特征中的至少一個(gè)第一芯片特征生成與所述第一違規(guī)相關(guān)聯(lián)的第一向量陣列；

根據(jù)所述第一向量陣列，從預(yù)存操作中選擇第一操作；以及

基于所述第一布局和所述第一操作來生成第二布局。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

通過將所述第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的數(shù)量與所述第二布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的數(shù)量進(jìn)行比較，來評估與所述第一布局相對應(yīng)的所述第一操作的修復(fù)率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

根據(jù)所述第一布局的第一芯片特征中的至少一個(gè)第一芯片特征，標(biāo)識未對其執(zhí)行所述預(yù)存操作的所述第一違規(guī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，對所述第一違規(guī)進(jìn)行分類包括：

根據(jù)所述第一布局中生成有所述第一違規(guī)的層的金屬密度，以及該層上的違規(guī)的數(shù)量與所述第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的總數(shù)量的比率，

標(biāo)識與布線擁塞相對應(yīng)的所述第一違規(guī)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，從所述預(yù)存操作中選擇所述第一操作包括：

當(dāng)所述第一違規(guī)對應(yīng)于所述布線擁塞時(shí)，從所述預(yù)存操作中與所述布線擁塞相對應(yīng)的那些預(yù)存操作中選擇所述第一操作。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，生成所述第一向量陣列包括：

根據(jù)所述第一芯片特征中的至少一個(gè)環(huán)境特征來生成所述第一向量陣列，其中，所述至少一個(gè)環(huán)境特征與所述第一違規(guī)相關(guān)聯(lián)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

累積與所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)相對應(yīng)的第一值以及與和所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)相關(guān)聯(lián)的周圍環(huán)境相對應(yīng)的第二值；以及

根據(jù)所述第一值和所述第二值，生成所述預(yù)存操作中的至少一個(gè)操作。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

接收所述第二布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)；

根據(jù)所述第二布局的第二芯片特征，將所述第二布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的第二違規(guī)分類為所述預(yù)定類別的第二類別；

為所述第二布局的第二芯片特征中的至少一個(gè)第二芯片特征生成與所述第二違規(guī)相關(guān)聯(lián)的第二向量陣列；

根據(jù)所述第二向量陣列，從所述預(yù)存操作中選擇第二操作；以及

基于所述第二布局和所述第二操作來生成第三布局。

9.一種用于制造半導(dǎo)體器件的系統(tǒng)，包括：

存儲器，被配置為存儲計(jì)算機(jī)程序代碼；以及

處理器，被配置為執(zhí)行所述存儲器中的所述計(jì)算機(jī)程序代碼以執(zhí)行以下操作：

根據(jù)芯片的第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的數(shù)據(jù)，將所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)分類為預(yù)定義類別；

根據(jù)所述第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)的數(shù)據(jù)，將預(yù)存操作的第一操作自動分配給所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)中的每個(gè)設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)；以及

基于所述第一布局和所述第一操作來生成第二布局。

10.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法，包括：

根據(jù)芯片的第一布局的芯片特征將所述第一布局的設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)中的每一個(gè)設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)分類為預(yù)定義類別，所述芯片特征包括所述第一布局的結(jié)構(gòu)特征、環(huán)境特征、違規(guī)類型或電路問題中的至少一項(xiàng)；

根據(jù)所述預(yù)定義類別中的一個(gè)預(yù)定義類別以及與所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)中的每一個(gè)設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)相關(guān)聯(lián)的所述芯片特征中的至少一個(gè)芯片特征，將預(yù)存操作的第一操作分配給所述設(shè)計(jì)規(guī)則違規(guī)；

根據(jù)所述第一操作來修改所述第一布局以生成第二布局；以及

基于所述第二布局來制造所述芯片。