[發明專利]卡匣的檢測裝置及檢測方法，基板加工生產線

有效

• 申請號: 202011228419.4
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112362004B
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 潘柏松;葉利丹
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00;G01B21/08;G01B11/00;G01B11/06;G08B21/18
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 晏波

1.一種卡匣的檢測裝置，用于檢測卡匣，所述卡匣包括匣體和支撐柱，所述匣體具有容置腔及與所述容置腔連通的取放口，所述支撐柱設于所述容置腔，所述支撐柱在所述容置腔內呈矩形陣列，其特征在于，所述卡匣的檢測裝置包括：

檢測器，用于檢測所述支撐柱是否處于預設位置；以及

報警器，用于在所述檢測器檢測到所述支撐柱偏離所述預設位置時發出警報；

所述檢測器用于通過檢測所述支撐柱下表面的高度是否低于預設高度，以檢測所述支撐柱是否處于所述預設位置；

所述檢測器包括多個檢測傳感器，所述多個檢測傳感器沿上下方向依次設置，所述檢測傳感器用于檢測所述支撐柱下表面的高度，且多個所述檢測傳感器與多排所述支撐柱一一對應；

所述檢測傳感器為對照式傳感器，所述檢測傳感器包括發射器和第一接收器，所述發射器與所述第一接收器分別設于所述卡匣的兩側，所述發射器用于發射檢測信號，所述第一接收器用于接收所述檢測信號，當所述支撐柱處于所述預設位置，所述發射器發射的檢測信號貼合在所述支撐柱的下表面射出，當所述第一接收器未接收到所述檢測信號時，所述第一接收器向所述報警器發送第一位置信息及報警指令，所述第一位置信息與遮擋所述檢測信號的所述支撐柱在上下方向上的位置相關聯，所述報警器用于在接收到所述第一位置信息和所述報警指令后，發出偏離所述預設位置的所述支撐柱在上下方向上的位置警報；

所述檢測傳感器還包括第二接收器，所述第二接收器與所述發射器設于同一側，所述第二接收器用于接收被所述支撐柱反射的所述檢測信號；

所述第二接收器還用于在接收到被所述支撐柱反射的檢測信號時，通過所述檢測信號的飛行時間和飛行速度，計算得到第二位置信息，所述第二位置信息與反射所述檢測信號的所述支撐柱在左右方向上的位置相關聯，所述第二接收器用于將所述第二位置信息發送給所述報警器；

所述報警器還用于根據所述第二位置信息，發出偏離所述預設位置的所述支撐柱在左右方向上的位置警報；

所述報警器以圖片的形式，在顯示屏上顯示所述匣體及所述支撐柱的示意圖，并將位置異常的支撐柱和位置正常的支撐柱在該示意圖上以不同的顏色區分；

在該示意圖上，還設有xy坐標軸，其中x軸對應每列所述支撐柱，y軸對應每排所述支撐柱。

2.如權利要求1所述的卡匣的檢測裝置，其特征在于，所述卡匣的檢測裝置還包括立柱，所述檢測傳感器高度可調地設于所述立柱。

3.如權利要求1所述的卡匣的檢測裝置，其特征在于，所述報警器所發出的警報為文字、聲音、圖片、顏色及光中的一種或多種的組合。

4.如權利要求2至3中任一項所述的卡匣的檢測裝置，其特征在于，所述檢測器對應所述支撐柱朝向匣體取放口的一端設置。

5.一種卡匣的檢測方法，應用如權利要求1至4中任一項所述的卡匣的檢測裝置，其特征在于，包括如下步驟：

通過檢測器檢測卡匣的支撐柱是否處于預設位置；

當檢測到所述支撐柱偏離所述預設位置時，通過報警器發出警報；

所述通過檢測器檢測卡匣的支撐柱是否處于預設位置的步驟包括：通過發射器、第一接收器及第二接收器檢測卡匣的支撐柱是否處于預設位置，所述發射器用于發射檢測信號，所述第一接收器用于接收所述檢測信號，所述第二接收器用于接收被所述支撐柱反射的所述檢測信號；

所述當檢測到所述支撐柱偏離所述預設位置時，通過報警器發出警報的步驟包括：當所述第一接收器未接收到所述檢測信號，所述第二接收器接收到被所述支撐柱反射的所述檢測信號時，通過所述報警器發出警報。

6.一種基板加工生產線，其特征在于，包括卡匣，及如權利要求1至4中任一項所述卡匣的檢測裝置，所述卡匣包括匣體和支撐柱，所述匣體具有容置腔及與所述容置腔連通的取放口，所述支撐柱設于所述容置腔，所述支撐柱在所述容置腔內呈矩形陣列。