[發(fā)明專(zhuān)利]晶舟結(jié)構(gòu)和具有其的晶舟組件和擴(kuò)散爐

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011228207.6
• 申請(qǐng)日: 2020-11-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114438600A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高鵬飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B31/14
• 分類(lèi)號(hào): C30B31/14
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該發(fā)明公開(kāi)了一種晶舟結(jié)構(gòu)和具有其的晶舟組件和擴(kuò)散爐，晶舟結(jié)構(gòu)包括支撐架，支撐架包括上支撐件和下支撐件，上支撐件與下支撐件之間設(shè)有多個(gè)支撐桿，支撐桿的兩端分別與上支撐件和下支撐件相連，多個(gè)支撐桿沿上支撐件的周向間隔開(kāi)設(shè)置且在其中兩個(gè)相鄰支撐桿之間形成有適于晶圓通過(guò)的開(kāi)口；晶圓支撐部，晶圓支撐部設(shè)在支撐桿上以承載晶圓，晶圓支撐部包括支撐板和至少一個(gè)晶圓插板，支撐板和至少一個(gè)晶圓插板承載同一晶圓，支撐板與支撐桿相連且與上支撐件和下支撐件的中心位置處相對(duì)應(yīng)，晶圓插板設(shè)在支撐桿的內(nèi)側(cè)以支撐晶圓的邊緣。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶舟結(jié)構(gòu)，能夠減小晶圓在制造中由于受到應(yīng)力作用而發(fā)生破裂的風(fēng)險(xiǎn)，提高產(chǎn)品良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶舟結(jié)構(gòu)、晶舟組件和擴(kuò)散爐。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)的晶圓在制備或者運(yùn)輸過(guò)程中，晶圓的存放尤其重要，在晶圓的制造中尤其是12寸以及以下的晶圓的制造中，例如擴(kuò)散爐設(shè)備中，晶舟結(jié)構(gòu)用于存放晶圓，一般晶舟結(jié)構(gòu)普遍采用三點(diǎn)式設(shè)計(jì)，由于溫度變化導(dǎo)致晶圓受應(yīng)力作用容易發(fā)生破裂，相關(guān)技術(shù)中的晶舟結(jié)構(gòu)由于采用三點(diǎn)式設(shè)計(jì)使得晶圓中心無(wú)法承載與支撐，晶圓在高溫環(huán)境下容易發(fā)生變形，尤其是當(dāng)膜厚累計(jì)到一定程度后受到的應(yīng)力增大，大大增加了晶圓破裂的幾率，同時(shí)由于晶圓變形也會(huì)出現(xiàn)晶圓中心與邊緣成膜不均勻的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種晶舟結(jié)構(gòu)，能夠減小晶圓的破裂幾率，提高產(chǎn)品良率。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶舟結(jié)構(gòu)，包括：支撐架，所述支撐架包括上支撐件和下支撐件，所述上支撐件與所述下支撐件之間設(shè)有多個(gè)支撐桿，所述支撐桿的兩端分別與所述上支撐件和所述下支撐件相連，多個(gè)所述支撐桿沿所述上支撐件的周向間隔開(kāi)設(shè)置且在其中兩個(gè)相鄰支撐桿之間形成有適于晶圓通過(guò)的開(kāi)口；晶圓支撐部，所述晶圓支撐部設(shè)在所述支撐桿上以承載晶圓，所述晶圓支撐部包括支撐板和至少一個(gè)晶圓插板，所述支撐板和所述至少一個(gè)晶圓插板承載同一晶圓，所述支撐板與所述支撐桿相連且與所述上支撐件和所述下支撐件的中心位置處相對(duì)應(yīng)，所述晶圓插板設(shè)在所述支撐桿的內(nèi)側(cè)以支撐所述晶圓的邊緣。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述晶圓支撐部還包括連接桿，所述連接桿分別與所述支撐桿和所述支撐板相連。

可選地，所述連接桿為至少兩個(gè)，所述至少兩個(gè)連接桿分別與至少兩個(gè)所述支撐桿一一對(duì)應(yīng)相連。

可選地，所述連接桿設(shè)在所述支撐板遠(yuǎn)離所述開(kāi)口且與所述開(kāi)口相對(duì)的一側(cè)。

可選地，所述支撐板的上表面與同一所述晶圓支撐部的晶圓插板的上表面相平齊，且高于所述連接桿的上表面。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述支撐板形成為圓形。

可選地，所述支撐板的直徑為90mm-110mm。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述支撐板形成為環(huán)形。

可選地，所述支撐板形成為圓環(huán)形，所述支撐板的內(nèi)環(huán)直徑為90mm-110mm，所述支撐板的寬度為6mm-10mm。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述晶圓插板為多個(gè)且環(huán)繞所述支撐板的周向?qū)R分布。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述晶圓支撐部為多個(gè)，多個(gè)所述晶圓支撐部沿所述支撐桿的軸向?qū)⒏糸_(kāi)設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，所述支撐板上形成有多個(gè)凸起以支撐所述晶圓。

可選地，多個(gè)所述凸起沿所述支撐板的周向均勻間隔開(kāi)分布。

本發(fā)明還提出了一種晶舟組件。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶舟組件包括：根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例所述的晶舟結(jié)構(gòu)；晶圓傳送裝置，所述晶圓傳送裝置包括晶圓傳送手臂，所述晶圓傳送手臂形成U型結(jié)構(gòu)且所述U型結(jié)構(gòu)的開(kāi)口朝向所述晶舟結(jié)構(gòu)，所述U型結(jié)構(gòu)的開(kāi)口寬度大于所述支撐板的最大寬度且允許所述支撐板穿過(guò)。