[發明專利]晶舟結構和具有其的晶舟組件和擴散爐

在審

• 申請號: 202011228207.6
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN114438600A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 高鵬飛
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: C30B31/14
• 分類號: C30B31/14
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種晶舟結構，其特征在于，包括：

支撐架，所述支撐架包括上支撐件和下支撐件，所述上支撐件與所述下支撐件之間設有多個支撐桿，所述支撐桿的兩端分別與所述上支撐件和所述下支撐件相連，多個所述支撐桿沿所述上支撐件的周向間隔開設置且在其中兩個相鄰支撐桿之間形成有適于晶圓通過的開口；

晶圓支撐部，所述晶圓支撐部設在所述支撐桿上以承載晶圓，所述晶圓支撐部包括支撐板和至少一個晶圓插板，所述支撐板和所述至少一個晶圓插板承載同一晶圓，所述支撐板與所述支撐桿相連且與所述上支撐件和所述下支撐件的中心位置處相對應，所述晶圓插板設在所述支撐桿的內側以支撐所述晶圓的邊緣。

2.根據權利要求1所述的晶舟結構，其特征在于，所述晶圓支撐部還包括連接桿，所述連接桿分別與所述支撐桿和所述支撐板相連。

3.根據權利要求2所述的晶舟結構，其特征在于，所述連接桿為至少兩個，所述至少兩個連接桿分別與至少兩個所述支撐桿一一對應相連。

4.根據權利要求2所述的晶舟結構，其特征在于，所述連接桿設在所述支撐板遠離所述開口且與所述開口相對的一側。

5.根據權利要求2所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板的上表面與同一所述晶圓支撐部的晶圓插板的上表面相平齊，且高于所述連接桿的上表面。

6.根據權利要求1所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板形成為圓形。

7.根據權利要求6所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板的直徑為90mm-110mm。

8.根據權利要求1所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板形成為環形。

9.根據權利要求8所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板形成為圓環形，所述支撐板的內環直徑為90mm-110mm，所述支撐板的寬度為6mm-10mm。

10.根據權利要求1所述的晶舟結構，其特征在于，所述晶圓插板為多個且環繞所述支撐板的周向對齊分布。

11.根據權利要求1所述的晶舟結構，其特征在于，所述晶圓支撐部為多個，多個所述晶圓支撐部沿所述支撐桿的軸向將隔開設置。

12.根據權利要求1-11任一項所述的晶舟結構，其特征在于，所述支撐板上形成有多個凸起以支撐所述晶圓。

13.根據權利要求12所述的晶舟結構，其特征在于，多個所述凸起沿所述支撐板的周向均勻間隔開分布。

14.一種晶舟組件，其特征在于，包括：

根據權利要求1-13中任一項所述的晶舟結構；

晶圓傳送裝置，所述晶圓傳送裝置包括晶圓傳送手臂，所述晶圓傳送手臂形成U型結構且所述U型結構的開口朝向所述晶舟結構，所述U型結構的開口寬度大于所述支撐板的最大寬度且允許所述支撐板穿過。

15.根據權利要求14所述晶舟組件，其特征在于，所述晶圓傳送手臂包括相互平行的第一平板和第二平板以及連接板，所述連接板形成為弧形且分別與所述第一平板和所述第二平板相連，所述第一平板和所述第二平板之間的垂直距離為150mm-200mm。

16.一種擴散爐，其特征在于，包括權利要求1-13中任一項所述的晶舟結構。