[發明專利]一種超低反射率的光學增透膜

在審

• 申請號: 202011228090.1
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112198565A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 陳建軍;于百華;呂強;朱曉強;孔旭東;王玉;姚宏輝;王浩
• 申請（專利權）人: 中山聯合光電研究院有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

本發明公開一種超低反射率的光學增透膜，超低剩余反射率的光學增透膜包括用于固定至光學玻璃的增透膜主體，增透膜主體具有用以固定至光學玻璃的近端、以及遠離光學玻璃的遠端；增透膜主體包括十三層膜層，十三層膜層包括七層氟化鎂膜層以及六層鈦酸鑭膜層，氟化鎂膜層與鈦酸鑭膜層由近至遠依次交替層疊布設。采用13層膜設計，鈦酸鑭膜層和氟化鎂膜層兩種高低折射率膜層交替分布。具有剩余反射率低，膜層敏感性低、無薄層，膜系工藝穩定性好的優點。

技術領域

本發明涉及光學增透膜技術領域，特別涉及一種超低反射率的光學增透膜。

背景技術

光是一種電磁波，當電磁波由一種介質傳播到另一種介質時，由于介質物理性質的不同，電磁場的能量將在界面上重新分配，而增透膜的作用，即是通過改變光學玻璃與空氣交界面的邊界條件，影響光傳播過程中的能量分布，從而達到增強透射光的效果。

普通光學玻璃在表面不鍍膜的情況下，反射率高達4％以上，隨著光學系統性能要求越來越高，一個變焦光學系統中可能需要多達20枚光學鏡片，如果沒有增透膜，那么系統的能量透過率將只剩20％，而且4％的反射光會在光學系統內多次折射反射形成雜散光，這些都將嚴重影響光學系統的實際性能。目前主流光學增透膜的剩余反射率約為0.5％，那么20枚鏡片的光學系統能量透過率約為82％。這是僅考慮鏡片表面反射的結果，如果綜合考慮光學材料吸收率、膜層吸收率、光學系統漸暈等因素，總的系統透過率將會更低。而如果光學增透膜的剩余反射率能夠控制在0.1％以下，那么20枚鏡片的光學系統理論能量透過率可達96％，相比于剩余反射率為0.5％，具有明顯的提升。由以上分析可以看出，光學增透膜剩余反射率的進一步壓低，不僅可以有效抑制剩余反射光造成的系統雜散光，而且有利于保證光學系統的透過率性能，并將明顯提升光學系統在微光甚至夜晚環境下的成像能力。

發明內容

本發明的主要目的是提供一種超低反射率的光學增透膜，旨在改善現有技術中，光學增透膜技術剩余反射率過高的技術問題。

為實現上述目的，本發明提供一種超低反射率的光學增透膜，應用于光學玻璃上，所述超低剩余反射率的光學增透膜包括用于固定至所述光學玻璃的增透膜主體，所述增透膜主體具有用以固定至所述光學玻璃的近端、以及遠離所述光學玻璃的遠端；

所述增透膜主體包括十三層膜層，所述十三層膜層包括七層氟化鎂膜層以及六層鈦酸鑭膜層，所述氟化鎂膜層與所述鈦酸鑭膜層由近至遠依次交替層疊布設。

可選地，所述十三層膜層中每一所述膜層的厚度大于10nm。

可選地，所述七層氟化鎂膜層由近至遠分別為第一氟化鎂膜層、第二氟化鎂膜層、第三氟化鎂膜層、第四氟化鎂膜層、第五氟化鎂膜層、第六氟化鎂膜層、第七氟化鎂膜層；

所述第一氟化鎂膜層，厚度為26.85nm-27.05nm；和/或，

所述第二氟化鎂膜層，厚度為204.04nm-204.24nm；和/或，

所述第三氟化鎂膜層，厚度為15.90nm-16.10nm；和/或，

所述第四氟化鎂膜層，厚度為54.66nm-54.86nm；和/或，

所述第五氟化鎂膜層，厚度為83.14nm-83.34nm；和/或，

所述第六氟化鎂膜層，厚度為14.90nm-15.20nm；和/或，

所述第七氟化鎂膜層，厚度為97.41nm-97.61nm。

可選地，所述第一氟化鎂膜層厚度為26.95nm，所述第二氟化鎂膜層厚度為204.14nm，所述第三氟化鎂膜層厚度為16.00nm，所述第四氟化鎂膜層厚度為54.76nm，所述第五氟化鎂膜層厚度為83.24nm，所述第六氟化鎂膜層厚度為15.00nm，所述第七氟化鎂膜層厚度為97.51nm。