[發明專利]防腐蝕性銅及電真空器件

在審

• 申請號: 202011227437.0
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN114438591A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 寇金宗;劉科海;何夢林;王恩哥
• 申請（專利權）人: 松山湖材料實驗室
• 主分類號: C30B29/02
• 分類號: C30B29/02;C30B1/02;H01J23/027;H01J23/033;H01J25/50
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 唐菲

本申請實施例提供一種防腐蝕性銅及電真空器件，屬于電真空設備材料領域。在防腐蝕性銅中，銅晶界數量≤10個/cm²；該防腐蝕性銅為晶疇為Cu(111)、Cu(200)和Cu(220)其中一種的單晶銅，單晶銅的XRD測試的單晶峰強＞3*10³。電真空器件具有真空作業元件，該真空作業元件的材質為該防腐蝕性銅。本申請的防腐蝕性銅在單位面積內具有特定的銅晶界數量，且其晶疇具有特定的單晶取向以及單晶峰強，使得銅材料自身具有較好的防腐蝕性能，能夠有效改善真空作業元件的腐蝕問題，提高真空作業元件的散熱性能和使用壽命。

技術領域

本申請涉及電真空設備材料領域，具體而言，涉及一種防腐蝕性銅及電真空器件。

背景技術

磁控管是一種產生微波能的電真空器件，管子內部保持高真空狀態，管內電子在相互垂直恒定的磁場和電場控制下發生相互作用，把從電場中獲得的能量轉變成微波能量。磁控管具有結構簡單、效率高、工作電壓低、電源簡單和適應負載變化能力強等優點，因而特別適用于電真空領域的微波加熱等微波能應用或雷達等。

現有報道的磁控管陽極管，所采用的銅材料在高溫環境下銅會被氧化，在陽極管表面形成一層致密氧化銅層，導致陽極管散熱變差，影響向散熱片熱量傳輸，導致整個磁控管散熱性能和壽命降低。

發明內容

本申請的目的在于提供一種防腐蝕性銅及電真空器件，防腐蝕性銅具有較好的防腐蝕性能，能夠有效改善真空作業元件的腐蝕問題，提高真空作業元件的散熱性能和使用壽命。

本申請的實施例是這樣實現的：

第一方面，本申請實施例提供一種防腐蝕性銅，在防腐蝕性銅中，銅晶界數量≤10個/cm²，防腐蝕性銅為晶疇為Cu(111)、Cu(200)和Cu(220)其中一種的單晶銅，單晶銅的XRD測試的單晶峰強＞3*10³。

第二方面，本申請實施例提供一種電真空器件，具有真空作業元件，真空作業元件的材質為如第一方面實施例提供的防腐蝕性銅。

本申請實施例提供的防腐蝕性銅及電真空器件，有益效果包括：

本申請的防腐蝕性銅在單位面積內具有特定的銅晶界數量，且其晶疇具有特定的單晶取向以及單晶峰強，使得銅材料自身具有較好的防腐蝕性能，能夠有效改善真空作業元件的腐蝕問題，提高真空作業元件的散熱性能和使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本申請的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1為本申請實施例1～2中的銅材料的XRD圖；

圖2為本申請實施例3～4中的銅材料的XRD圖；

圖3為本申請實施例5中的銅材料的XRD圖；

圖4為本申請實施例1中的銅材料在高溫條件下，不同時間階段的表面變化情況圖；

圖5為本申請對比例1中的銅材料在高溫條件下，不同時間階段的表面變化情況圖；

圖6為本申請實施例1和對比例3中的銅材料表面的氧化層厚度的變化情況曲線圖；

圖7為本申請實施例1中銅材料Cu(220)和實施例3中銅材料Cu(200)氧化層厚度對比變化情況。

具體實施方式

為使本申請實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將對本申請實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。實施例中未注明具體條件者，按照常規條件或制造商建議的條件進行。所用試劑或儀器未注明生產廠商者，均為可以通過市售購買獲得的常規產品。