[發明專利]防腐蝕性銅及電真空器件在審
| 申請號： | 202011227437.0 | 申請日： | 2020-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN114438591A | 公開（公告）日： | 2022-05-06 |
| 發明（設計）人： | 寇金宗;劉科海;何夢林;王恩哥 | 申請（專利權）人： | 松山湖材料實驗室 |
| 主分類號： | C30B29/02 | 分類號： | C30B29/02;C30B1/02;H01J23/027;H01J23/033;H01J25/50 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腐蝕性 真空 器件 | ||
1.一種防腐蝕性銅，其特征在于，在所述防腐蝕性銅中，銅晶界數量≤10個/cm2，所述防腐蝕性銅為晶疇為Cu(111)、Cu(200)和Cu(220)其中一種的單晶銅，所述單晶銅的XRD測試的單晶峰強＞3*103。
2.根據權利要求1所述的防腐蝕性銅，其特征在于，在所述防腐蝕性銅的晶疇為大晶疇，所述大晶疇的平均直徑≥20mm。
3.根據權利要求2所述的防腐蝕性銅，其特征在于，所述大晶疇的平均直徑為20～50cm。
4.根據權利要求1所述的防腐蝕性銅，其特征在于，在所述防腐蝕性銅中，所述單晶銅的晶疇為Cu(220)。
5.根據權利要求1～4任一項所述的防腐蝕性銅，其特征在于，所述防腐蝕性銅的純度＞99.95％且氧含量＜10ppm。
6.根據權利要求5所述的防腐蝕性銅，其特征在于，所述防腐蝕性銅的純度＞99.97％且氧含量＜5ppm。
7.根據權利要求1～4任一項所述的防腐蝕性銅，其特征在于，所述防腐蝕性銅的硬度＜60HV，和/或，所述防腐蝕性銅的導電率性能≥101％IACS。
8.一種電真空器件，具有真空作業元件，其特征在于，所述真空作業元件的材質為如權利要求1～7任一項所述的防腐蝕性銅。
9.根據權利要求8所述的電真空器件，其特征在于，所述真空作業元件的壁厚為0.1～3mm；和/或，所述真空作業元件為銅管，所述銅管的外徑為5～50mm、內徑為3～48mm且長度為1～3mm。
10.根據權利要求8或9所述的電真空器件，其特征在于，所述電真空器件為磁控管，所述真空作業元件為陽極管；或，所述電真空器件為微波電真空器件。
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