[發(fā)明專利]一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片、顯示器及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011226095.0
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112462455A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂迅
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽熙泰智能科技有限公司
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B5/20;G02F1/1335;G03F7/00
• 代理公司: 北京恒泰銘睿知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11642
• 代理人: 王肖林

本發(fā)明涉及金屬周期性圖案孔徑陣列結(jié)構(gòu)的領(lǐng)域，公開一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片、顯示器及其制備方法，所述亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片包括：光阻加工層，置于封裝完成后的驅(qū)動電路基板上，且其內(nèi)部形成有環(huán)形通槽；以及金屬沉積層，沉積于所述光阻加工層的上方，且其中心位置形成有通光孔。本發(fā)明利用光在金屬薄膜周期性圖案表面耦合產(chǎn)生的表面等離子體效應(yīng)，透射光半峰寬小，色域更大。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬周期性圖案孔徑陣列結(jié)構(gòu)的領(lǐng)域，特別涉及一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片、顯示器及其制備方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中關(guān)于該種濾光片公開了一種利用表面等離子體的濾色器、液晶顯示設(shè)備及其制造方法，其濾色器包括：金屬層；以及在該金屬層中形成的透射圖案，該透射圖案包括多個具有周期的亞波長孔，其中通過利用表面等離子體選擇性地透射特定波長的光來輸出所希望的顏色的光，并且所述多個亞波長孔排列成三角形點陣，該三角形點陣具有預(yù)定數(shù)量的與中心孔最相鄰的孔。

現(xiàn)有技術(shù)中的濾色器采用周期圓孔設(shè)計，透光性差，透射光半峰寬大，色域較小。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片、顯示器及其制備方法，該亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片、顯示器及其制備方法利用光在金屬薄膜周期性圖案表面耦合產(chǎn)生的表面等離子體效應(yīng)，透射光半峰寬小，色域更大。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：

一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片，所述亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片包括：光阻加工層，置于封裝完成后的驅(qū)動電路基板上，且其內(nèi)部形成有環(huán)形通槽；以及金屬沉積層，沉積于所述光阻加工層的上方，且其中心位置形成有通光孔。

優(yōu)選地，所述金屬沉積層的材料被配置為銀和鋁。

優(yōu)選地，所述通光孔的孔徑大小為100nm。

另外，本發(fā)明提供一種亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片的制備方法，所述亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片的制備方法包括：在封裝完成后的驅(qū)動電路基板上涂覆光阻層；對所述光阻層進(jìn)行光刻形成有環(huán)形通槽；在所述光阻層的上方沉積金屬層；以及在所述金屬層上形成有透光孔。

優(yōu)選地，所述在所述金屬層上形成有透光孔的方法包括：利用聚焦離子束對所述金屬層的中心進(jìn)行打孔以形成透光孔；或者通過光刻和刻蝕對所述金屬層的中心進(jìn)行打孔以形成透光孔。

優(yōu)選地，所述對所述光阻層進(jìn)行光刻形成有環(huán)形通槽的方法包括：對所述光阻層進(jìn)行曝光、顯影、烘烤和固化以形成有環(huán)形通槽。

另外，本發(fā)明提供一種顯示器，所述顯示器包括上述的亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片。

相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明本思路的周期孔徑陣列結(jié)構(gòu)利用圓環(huán)周期圖案“靶心”結(jié)構(gòu)將濾光器所設(shè)計波長的光集中在中心孔徑周圍，形成局域電場增強(qiáng)，起到等離子體天線的作用，外部量子效率比圓孔周期排布圖案更高，同時透射光半峰寬小，色域更大。

本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細(xì)說明。

附圖說明

構(gòu)成本發(fā)明的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實施方式及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本發(fā)明的亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的亞波長孔徑陣列結(jié)構(gòu)濾光片的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的封裝完成后的驅(qū)動電路基板的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明的對所述光阻層進(jìn)行光刻后的結(jié)構(gòu)的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明的沉積金屬層后的截面結(jié)構(gòu)示意圖；以及