[發明專利]一種亞波長孔徑陣列結構濾光片、顯示器及其制備方法在審
| 申請號： | 202011226095.0 | 申請日： | 2020-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN112462455A | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發明（設計）人： | 呂迅 | 申請（專利權）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/00 | 分類號： | G02B5/00;G02B5/20;G02F1/1335;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 11642 | 代理人： | 王肖林 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖市長江大橋*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 波長 孔徑 陣列 結構 濾光 顯示器 及其 制備 方法 | ||
1.一種亞波長孔徑陣列結構濾光片，其特征在于，所述亞波長孔徑陣列結構濾光片包括：
光阻加工層，置于封裝完成后的驅動電路基板上，且其內部形成有環形通槽；以及
金屬沉積層，沉積于所述光阻加工層的上方，且其中心位置形成有通光孔。
2.根據權利要求1所述的亞波長孔徑陣列結構濾光片，其特征在于，所述金屬沉積層的材料被配置為銀和鋁。
3.根據權利要求1所述的亞波長孔徑陣列結構濾光片，其特征在于，所述通光孔的孔徑大小為100nm。
4.一種亞波長孔徑陣列結構濾光片的制備方法，其特征在于，所述亞波長孔徑陣列結構濾光片的制備方法包括：
在封裝完成后的驅動電路基板上涂覆光阻層；
對所述光阻層進行光刻形成有環形通槽；
在所述光阻層的上方沉積金屬層；以及
在所述金屬層上形成有透光孔。
5.根據權利要求4所述的亞波長孔徑陣列結構濾光片的制備方法，其特征在于，所述在所述金屬層上形成有透光孔的方法包括：
利用聚焦離子束對所述金屬層的中心進行打孔以形成透光孔；或者
通過光刻和刻蝕對所述金屬層的中心進行打孔以形成透光孔。
6.根據權利要求4所述的亞波長孔徑陣列結構濾光片的制備方法，其特征在于，所述對所述光阻層進行光刻形成有環形通槽的方法包括：
對所述光阻層進行曝光、顯影、烘烤和固化以形成有環形通槽。
7.一種顯示器，其特征在于，所述顯示器包括權利要求1-3中任意一項所述的亞波長孔徑陣列結構濾光片。
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