[發(fā)明專利]一種顯示面板的制作方法及顯示面板

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• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112366218A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王虎
• 申請（專利權(quán)）人: TCL華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板的正面形成金屬層，所述金屬層包括金屬墊；

在所述金屬層上形成薄膜晶體管層；

在所述基板的背面形成綁定電路層；

在對應(yīng)所述金屬墊的位置形成貫穿所述基板的通孔；

在所述通孔內(nèi)和所述基板背面形成連接所述金屬墊和綁定電路層的導(dǎo)電層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板的制作方法，其特征在于，在對應(yīng)所述金屬墊的位置形成貫穿所述基板的通孔的步驟，包括：

在所述基板背面對應(yīng)所述金屬墊的位置涂布光致抗蝕劑；

對所述光致抗蝕劑進(jìn)行曝光；

對曝光后的所述光致抗蝕劑進(jìn)行刻蝕；

基于刻蝕后的所述光致抗蝕劑對所述基板進(jìn)行交替循環(huán)的刻蝕處理和保護(hù)處理；

剝離所述刻蝕后的光致抗蝕劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述顯示面板的制作方法，其特征在于，所述刻蝕處理的時(shí)間為60-100s，所述保護(hù)處理的時(shí)間為90-120s。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板的制作方法，其特征在于，所述金屬層還包括與所述金屬墊隔開設(shè)置的遮光層，在所述金屬層上形成薄膜晶體管層的步驟，包括：

形成覆蓋所述金屬層的緩沖層；

形成位于所述緩沖層上有源層；

形成位于所述有源層上的柵極絕緣層；

形成位于所述柵極絕緣層上的柵極層；

形成位于所述緩沖層上且覆蓋所述有源層、柵極絕緣層、及柵極層的中間層；

形成位于所述有源層兩端上方且貫穿所述中間層的源極和漏極，所述源極在其下方通過通孔與所述遮光層連接；

形成位于所述中間層上且覆蓋所述源極和漏極的平坦層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板的制作方法，其特征在于，相鄰的所述金屬墊交錯排列。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述通孔內(nèi)和所述基板背面形成連接所述金屬墊和綁定電路層的導(dǎo)電層的步驟，包括：采用印刷工藝形成位于所述通孔內(nèi)和基板背面的銀漿，所述銀漿將所述金屬墊和綁定電路層導(dǎo)通。

7.一種顯示面板，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板正面的金屬層，所述金屬層包括金屬墊；

位于所述金屬層上的薄膜晶體管層；

位于所述基板背面的綁定電路層；

在對應(yīng)所述金屬墊的位置貫穿所述基板的通孔；

位于所述通孔內(nèi)和所述基板背面的導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層將所述金屬墊與所述綁定電路層電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示面板，其特征在于，所述通孔由交替循環(huán)進(jìn)行的刻蝕處理和保護(hù)處理所形成，所述刻蝕處理的時(shí)間為60-100s，所述保護(hù)處理的時(shí)間為90-120s。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬層還包括與所述金屬墊隔開設(shè)置的遮光層，所述薄膜晶體管層包括：

覆蓋所述金屬層的緩沖層；

位于所述緩沖層上有源層；

位于所述有源層上的柵極絕緣層；

位于所述柵極絕緣層上的柵極層；

位于所述緩沖層上且覆蓋所述有源層、柵極絕緣層、及柵極層的中間層；

位于所述有源層兩端上方且貫穿所述中間層的源極和漏極，所述源極在其下方通過通孔與所述遮光層連接；

位于所述中間層上且覆蓋所述源極和漏極的平坦層。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示面板，其特征在于，相鄰的所述金屬墊交錯排列。