[發(fā)明專利]顯示面板及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011222618.4
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112420740A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫荷靜;邱恒達;周航
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

本申請?zhí)岢隽艘环N顯示面板及其制作方法。該顯示面板包括：襯底以及位于襯底上的輔助層與有源層，輔助層與有源層同層設(shè)置；其中，輔助層由疏水性材料構(gòu)成，以及有源層遠離襯底一側(cè)的第一表面與襯底平行。本申請通過輔助層的設(shè)置，以輔助用于形成有源層的材料圖案化形成有源層，提高了形成有源層的材料的利用率，降低了顯示面板的制造成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板及其制作方法。

背景技術(shù)

隨著人們對顯示面板需求量的提升，改善顯示面板的制造工藝以及結(jié)構(gòu)，以降低顯示面板的制造成本是顯示面板的一大重要的發(fā)展方向。

現(xiàn)有的顯示面板的薄膜晶體管結(jié)構(gòu)中，有源層通常采用半導(dǎo)體材料的物理沉積以及后續(xù)的圖案化處理獲得，設(shè)備成本昂貴，且后續(xù)的圖案化工藝除去多余半導(dǎo)體材料，導(dǎo)致半導(dǎo)體材料利用率難以提高，顯示面板的制造成本難以降低。

因此，亟需一種新的顯示面板及其制作方法以解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請?zhí)峁┝艘环N顯示面板及其制作方法，用于解決現(xiàn)有的顯示面板由于采用物理沉積以及后續(xù)圖案化處理形成有源層，導(dǎo)致顯示面板的制造成本難以降低的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┑募夹g(shù)方案如下：

本申請?zhí)峁┝艘环N顯示面板，襯底以及位于所述襯底上的輔助層與有源層，所述輔助層與所述有源層同層設(shè)置；

其中，所述輔助層由疏水性材料構(gòu)成，以及所述有源層遠離所述襯底一側(cè)的第一表面與所述襯底平行。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述輔助層由第一溶液經(jīng)第一去溶劑化處理形成；

所述第一溶液由所述疏水性材料以及第一溶劑混合形成。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述第一溶液經(jīng)所述第一去溶劑化處理后形成一疏水性材料層，所述疏水性材料層經(jīng)圖案化處理形成所述輔助層，所述疏水性材料為疏水性全氟樹脂材料。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述有源層由第二溶液經(jīng)第二去溶劑化處理形成，所述第二溶液包括銦元素、鎵元素、及鋅元素。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述第二溶液中銦元素、鎵元素、及鋅元素的含量比為3.2～4.8:0.8～1.2:0.8～1.2。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述有源層遠離所述襯底一側(cè)的所述第一表面與所述輔助層的第二表面位于同一平面內(nèi)。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述顯示面板還包括位于所述有源層與所述襯底之間的柵極；

所述柵極包括與所述襯底平行的第一區(qū)以及位于所述第一區(qū)兩側(cè)的第二區(qū)，所述第二區(qū)與所述襯底形成的夾角為80至110度。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述顯示面板還包括位于柵極以及所述有源層之間的絕緣層，所述絕緣層與所述輔助層一體設(shè)置。

本申請?zhí)峁┑娘@示面板中，所述顯示面板還包括位于所述輔助層上的凸起，所述凸起遠離所述襯底的一側(cè)為弧形；

所述弧形向遠離所述襯底的方向凸出。

本申請還提供了一種顯示面板的制作方法，包括：

在襯底上經(jīng)第一預(yù)設(shè)工藝形成輔助層；

在所述襯底上經(jīng)第二預(yù)設(shè)工藝形成有源層；

在所述有源層上經(jīng)第三預(yù)設(shè)工藝形成源漏極層；

其中，所述輔助層由疏水性材料構(gòu)成，以及所述有源層遠離所述襯底的一側(cè)的第一表面與所述襯底平行。