[發明專利]帶自動功率優化功能的激光器

在審

• 申請號: 202011217189.1
• 申請日: 2020-11-04
• 公開（公告）號: CN112134134A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 趙曉杰;樊樸;李碩;蘇炯鋒;黎凱;林思引
• 申請（專利權）人: 英諾激光科技股份有限公司
• 主分類號: H01S3/11
• 分類號: H01S3/11;H01S3/13
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 馮筠

本發明公開了一種帶自動功率優化功能的激光器，包括封閉的諧振腔和控制系統，所述諧振腔內設有泵浦源、泵浦鏡、激光晶體、Q開關、至少一個的非線性晶體以及對二倍頻光及基頻光同時高反的腔鏡，所述泵浦鏡作為所述諧振腔的一端鏡，所述腔鏡作為所述諧振腔的另一端鏡，所述泵浦源發出的激光依次經所述泵浦鏡、所述激光晶體、所述Q開關、所述非線性晶體和所述腔鏡輸出，所述激光晶體用于吸收所述泵浦鏡輸出的激光以在兩個端鏡之間形成激光振蕩，所述激光器還包括晶體自動換點裝置，所述非線性晶體置于所述晶體自動換點裝置上，所述非線性晶體用于將基頻光轉化為二倍頻、三倍頻或更高級諧波輸出，所述晶體自動換點裝置與控制系統電連接。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，更具體地說是指一種帶自動功率優化功能的激光器。

背景技術

隨著科技的進步和激光技術的快速發展，激光器已經在通信、醫療、機械加工、武器、照明等領域有著廣泛的應用。

現有激光器存在幾大問題：

(1)光學元件無法承受過高功率，倍頻晶體表面鍍膜容易打壞。

(2)輸出光斑尺寸太小，容易打壞客戶光學元件。增加擴束器之后，擴束器表面同樣容易被打壞。

(3)現有激光器諧振腔體中缺乏可以用于調節光路的原件，任何運輸過程中產生的光學元件偏移，及其所導致的功率下降以及光斑圓度下降，都無法在不打開腔體的情況下復原。

即隨著激光器使用時間的推移，激光器會逐漸在出光過程中發生退化，甚至會被打壞，從而導致輸出的紫外光功率下降或不能正常工作，基于這個原因每隔一段時間就需要專業技術人員到用戶現場進行手工操作調試，費時費力，耽誤生產。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足，提供一種帶自動功率優化功能的激光器。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：一種帶自動功率優化功能的激光器，包括封閉的諧振腔和控制系統，所述諧振腔內設有泵浦源、泵浦鏡、激光晶體、Q開關、至少一個的非線性晶體以及對二倍頻光及基頻光同時高反的腔鏡，所述泵浦鏡作為所述諧振腔的一端鏡，所述腔鏡作為所述諧振腔的另一端鏡，所述泵浦源發出的激光依次經所述泵浦鏡、所述激光晶體、所述Q開關、所述非線性晶體和所述腔鏡輸出，所述激光晶體用于吸收所述泵浦鏡輸出的激光以在兩個端鏡之間形成激光振蕩，所述激光器還包括晶體自動換點裝置，所述非線性晶體置于所述晶體自動換點裝置上，所述非線性晶體用于將基頻光轉化為二倍頻、三倍頻或更高級諧波輸出，所述晶體自動換點裝置與控制系統電連接，所述激光器還包括功率檢測反饋裝置，所述功率檢測反饋裝置與所述控制系統電連接，所述諧振腔內設有腔鏡調節裝置，所述腔鏡置于所述腔鏡調節裝置上，所述腔鏡調節裝置用于調整所述諧振腔內的諧振光路，所述腔鏡調節裝置與所述控制系統電連接。

其進一步技術方案為：所述晶體自動換點裝置包括電機和移動平臺，所述非線性晶體固設于所述移動平臺上，所述移動平臺與所述電機的輸出軸連接，所述電機與所述控制系統電連接，所述電機用于驅動所述移動平臺移動以調整激光在所述非線性晶體上的位置。

其進一步技術方案為：所述非線性晶體對基頻光處于或接近于布魯斯特角輸出。

其進一步技術方案為：所述腔鏡調節裝置包括調節機構和驅動組件，所述調節機構與所述驅動組件連接，所述腔鏡固設于所述調節機構上，所述驅動機構與控制系統電連接，所述調節機構用于調節所述腔鏡的角度，以優化激光功率輸出。

其進一步技術方案為：所述功率檢測反饋裝置包括設于激光輸出光路上的分光裝置和光功率測量探頭，所述光功率測量探頭與所述控制系統電連接，所述光功率測量探頭用于接收所述分光裝置輸出的激光，所述控制系統用于根據輸出激光的功率自動優化所述激光器的輸出功率。

其進一步技術方案為：所述分光裝置為一個沒有鍍光學膜的紫外光學拋光片，所述分光裝置放置于與輸出激光接近布魯斯特角的范圍內。