[發明專利]帶自動功率優化功能的激光器

在審

• 申請號: 202011217189.1
• 申請日: 2020-11-04
• 公開（公告）號: CN112134134A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 趙曉杰;樊樸;李碩;蘇炯鋒;黎凱;林思引
• 申請（專利權）人: 英諾激光科技股份有限公司
• 主分類號: H01S3/11
• 分類號: H01S3/11;H01S3/13
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 馮筠

1.一種帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，包括封閉的諧振腔和控制系統，所述諧振腔內設有泵浦源、泵浦鏡、激光晶體、Q開關、至少一個的非線性晶體以及對二倍頻光及基頻光同時高反的腔鏡，所述泵浦鏡作為所述諧振腔的一端鏡，所述腔鏡作為所述諧振腔的另一端鏡，所述泵浦源發出的激光依次經所述泵浦鏡、所述激光晶體、所述Q開關、所述非線性晶體和所述腔鏡輸出，所述激光晶體用于吸收所述泵浦鏡輸出的激光以在兩個端鏡之間形成激光振蕩，所述激光器還包括晶體自動換點裝置，所述非線性晶體置于所述晶體自動換點裝置上，所述非線性晶體用于將基頻光轉化為二倍頻、三倍頻或更高級諧波輸出，所述晶體自動換點裝置與控制系統電連接，所述激光器還包括功率檢測反饋裝置，所述功率檢測反饋裝置與所述控制系統電連接，所述諧振腔內設有腔鏡調節裝置，所述腔鏡置于所述腔鏡調節裝置上，所述腔鏡調節裝置用于調整所述諧振腔內的諧振光路，所述腔鏡調節裝置與所述控制系統電連接。

2.根據權利要求1所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述晶體自動換點裝置包括電機和移動平臺，所述非線性晶體固設于所述移動平臺上，所述移動平臺與所述電機的輸出軸連接，所述電機與所述控制系統電連接，所述電機用于驅動所述移動平臺移動以調整激光在所述非線性晶體上的位置。

3.根據權利要求1所示的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述非線性晶體對基頻光處于或接近于布魯斯特角輸出。

4.根據權利要求1所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述腔鏡調節裝置包括調節機構和驅動組件，所述調節機構與所述驅動組件連接，所述腔鏡固設于所述調節機構上，所述驅動機構與控制系統電連接，所述調節機構用于調節所述腔鏡的角度，以優化激光功率輸出。

5.根據權利要求1所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述功率檢測反饋裝置包括設于激光輸出光路上的分光裝置和光功率測量探頭，所述光功率測量探頭與所述控制系統電連接，所述光功率測量探頭用于接收所述分光裝置輸出的激光，所述控制系統用于根據輸出激光的功率自動優化所述激光器的輸出功率。

6.根據權利要求5所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述分光裝置為一個沒有鍍光學膜的紫外光學拋光片，所述分光裝置放置于與輸出激光接近布魯斯特角的范圍內。

7.根據權利要求1所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述諧振腔內設有可換點擴束器裝置，所述可換點擴束器裝置設置于所述諧振腔的激光輸出光路上，并與所述控制系統電連接。

8.根據權利要求1所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述激光器還包括方便用戶更換的可更換擴束器，所述可更換擴束器設置于所述諧振腔的激光輸出窗口或光路上，并與所述諧振腔可拆連接。

9.根據權利要求7或8所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述可換點擴束器裝置或所述可更換擴束器后方設有一個外部關閘。

10.根據權利要求1-8任意一項所述的帶自動功率優化功能的激光器，其特征在于，所述諧振腔內設置有換氣裝置，所述換氣裝置包括氣泵、過濾器和干燥器，所述干燥器內設有干燥劑，所述過濾器的進氣口與所述氣泵的出氣口連接，所述過濾器的出氣口與所述干燥器的進氣口連接。