[發(fā)明專利]Micro LED轉移裝置及轉移方法、顯示面板

在審

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• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN112420894A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 李冬澤
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L33/48
• 分類號: H01L33/48;H01L21/683;H01L21/67;H01L27/15
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

本申請公開了一種Micro LED轉移裝置及轉移方法、顯示面板，所述Micro LED轉移裝置包括打印裝置；所述打印裝置包括基板以及位于所述基板表面的釋放層；所述基板用于吸附Micro LED；所述釋放層用于在設定的濕度條件下分離所述基板及所述Micro LED，以改善轉移Micro LED過程中出現(xiàn)局部力失衡導致轉移效果不佳，影響產(chǎn)品良率的問題，提高Micro LED的轉移精度及產(chǎn)品良率。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，尤其涉及一種Micro LED轉移裝置及轉移方法、顯示面板。

背景技術

微型發(fā)光二極管(Micro Light Emitting Diode，Micro LED)因其具有高亮度、高對比度、高解析度、高色域及廣視角等特性，成為顯示技術領域的研究重點。但如何將微型發(fā)光二極管按需轉移至陣列基板的對應像素上成為發(fā)展微型發(fā)光二極管技術的難點。目前一般采用巨量轉移技術實現(xiàn)微型二極管的轉移，但即使是采用巨量轉移技術中較成熟的彈性印模(Stamp)轉移技術，也存在著技術缺陷，如在采用異方性導電膠或者其他邦定材料技術的時候，會出現(xiàn)局部的力失衡，達不到精確地轉移效果。

發(fā)明內容

本申請實施例提供一種Micro LED轉移裝置及轉移方法、顯示面板，可以改善轉移Micro LED過程中出現(xiàn)局部力失衡導致轉移效果不佳，影響產(chǎn)品良率的問題。

本申請實施例提供一種Micro LED轉移裝置，包括：打印裝置，所述打印裝置包括：

基板，所述基板用于吸附Micro LED；以及，

位于所述基板表面的釋放層，所述釋放層用于在設定的濕度條件下分離所述基板及所述Micro LED。

在一些實施例中，所述釋放層包括水汽敏感性高分子材料。

在一些實施例中，所述水汽敏感性高分子材料包括溶劑以及分散于所述溶劑中的水溶性高分子化合物和反應物。

在一些實施例中，所述水溶性高分子化合物包括聚吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮中的至少一種，所述反應物包括檸檬酸、己二酸中的至少一種與碳酸氫鈉的組合；所述溶劑包括二氯甲烷及乙醇。

在一些實施例中，所述水溶性高分子化合物與所述反應物的質量比為10：1～1：1。

在一些實施例中，所述二氯甲烷的質量百分比為0.5％～1％，所述乙醇的質量百分比為小于或等于5％。

在一些實施例中，所述基板包括基底以及位于所述基底靠近所述釋放層一側的彈性體。

在一些實施例中，所述設定的濕度條件為濕度大于50％。

本申請還提供一種Micro LED轉移方法，采用所述的Micro LED轉移裝置，包括以下步驟：

S10：提供一承載基板及目標基板；其中，所述承載基板表面形成有多個待轉移的所述Micro LED，所述目標基板上設置有待放置所述Micro LED的目標位置；

S20：利用所述打印裝置拾取所述Micro LED；

S30：將所述Micro LED放置在所述目標基板的所述目標位置處，并對所述打印裝置進行水汽處理，以分離所述Micro LED與所述基板。

本申請還提供一種顯示面板，包括：

目標基板，所述目標基板包括采用所述Micro LED轉移裝置轉移得到的多個MicroLED或采用Micro LED轉移方法轉移得到的多個Micro LED。