[發(fā)明專利]Micro LED轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法、顯示面板

在審

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• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN112420894A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李冬澤
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L33/48
• 分類號: H01L33/48;H01L21/683;H01L21/67;H01L27/15
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

1.一種Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括：打印裝置，所述打印裝置包括：

基板，所述基板用于吸附Micro LED；以及，

位于所述基板表面的釋放層，所述釋放層用于在設(shè)定的濕度條件下分離所述基板及所述Micro LED。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述釋放層包括水汽敏感性高分子材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述水汽敏感性高分子材料包括溶劑以及分散于所述溶劑中的水溶性高分子化合物和反應(yīng)物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述水溶性高分子化合物包括聚吡咯烷酮、聚乙烯吡咯烷酮中的至少一種；所述反應(yīng)物包括檸檬酸、己二酸中的至少一種與碳酸氫鈉的組合；所述溶劑包括二氯甲烷及乙醇。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述水溶性高分子化合物與所述反應(yīng)物的質(zhì)量比為10：1～1：1。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述二氯甲烷的質(zhì)量百分比為0.5％～1％，所述乙醇的質(zhì)量百分比為小于或等于5％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述基板包括基底以及位于所述基底靠近所述釋放層一側(cè)的彈性體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述設(shè)定的濕度條件為濕度大于50％。

9.一種Micro LED轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1～8任一所述的Micro LED轉(zhuǎn)移裝置，包括以下步驟：

S10：提供一承載基板及目標(biāo)基板；其中，所述承載基板表面形成有多個待轉(zhuǎn)移的所述Micro LED，所述目標(biāo)基板上設(shè)置有待放置所述Micro LED的目標(biāo)位置；

S20：利用所述打印裝置拾取所述Micro LED；

S30：將所述Micro LED放置在所述目標(biāo)基板的所述目標(biāo)位置處，并對所述打印裝置進(jìn)行水汽處理，以分離所述Micro LED與所述基板。

10.一種顯示面板，其特征在于，包括：

目標(biāo)基板，所述目標(biāo)基板包括采用如權(quán)利要求1～8任一所述Micro LED轉(zhuǎn)移裝置轉(zhuǎn)移得到的多個Micro LED。