[發(fā)明專利]一種通用掩模夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011196576.1
• 申請日: 2020-10-31
• 公開（公告）號: CN112213928A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;楊東海;顧夢星;劉浩
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

本發(fā)明公開了一種通用掩模夾具，包括底座，所述底座上設(shè)有放置臺，所述放置臺上設(shè)有掩模，所述底座上設(shè)有用于夾持不同大小掩模的夾持裝置，本發(fā)明通過設(shè)有夾持裝置，可以解決目前階段的掩模夾具存在的諸多不足，解決了在對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用的問題，在夾持不同大小的掩模時無需更換夾具，方便快捷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種通用掩模夾具。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造中，許多芯片工藝步驟采用光刻技術(shù)，用于這些步驟的圖形底片稱為掩模(也稱作掩模)，其作用是在硅片上選定的區(qū)域中對一個不透明的圖形模板遮蓋，繼而下面的腐蝕或擴(kuò)散將只影響選定的區(qū)域以外的區(qū)域。

掩模夾具的出現(xiàn)大大方便了掩模的固定，但是目前階段的掩模夾具，存在諸多的不足之處，在對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用，更換比較麻煩，實用價值低，為此，我們提出一種通用掩模夾具。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種可以解決目前階段的掩模夾具存在的諸多不足，解決了在對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用的問題，在夾持不同大小的掩模時無需更換夾具，方便快捷的通用掩模夾具，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種通用掩模夾具，包括底座，所述底座上設(shè)有放置臺，所述放置臺上設(shè)有掩模，所述底座上設(shè)有用于夾持不同大小掩模的夾持裝置，本發(fā)明通過設(shè)有夾持裝置，可以解決目前階段的掩模夾具存在的諸多不足，解決了在對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用的問題，在夾持不同大小的掩模時無需更換夾具，方便快捷。

優(yōu)選的，所述夾持裝置包括彈簧，所述彈簧設(shè)有多個，均勻分布在底座上，所述底座上設(shè)有滑槽，所述滑槽設(shè)有多個，均勻分布在底座上，所述彈簧一端固定在滑槽側(cè)壁上，另一端設(shè)有滑塊，所述滑塊與滑槽滑動連接，所述滑塊遠(yuǎn)離滑槽的一側(cè)設(shè)有支桿，所述支桿遠(yuǎn)離滑塊的一端設(shè)有用于放置掩模的放置結(jié)構(gòu)，可以對不同大小的掩模進(jìn)行夾持。

優(yōu)選的，所述放置結(jié)構(gòu)包括固定臺，所述固定臺固定在支桿遠(yuǎn)離滑塊的一端上，所述固定臺靠近放置臺的一側(cè)設(shè)有放置槽，所述放置槽內(nèi)設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有用于夾緊掩模的夾緊裝置，用于放置掩模。

優(yōu)選的，所述夾緊裝置包括伸縮桿，所述伸縮桿一端與凹槽頂部固定，另一端設(shè)有抵塊，所述伸縮桿上穿設(shè)有壓簧，所述壓簧一端固定在凹槽頂部上，另一端與抵塊固定，可以對掩模的四角進(jìn)行固定。

優(yōu)選的，所述支桿遠(yuǎn)離放置臺的一側(cè)設(shè)有斜臺，起到加固的作用。

與傳統(tǒng)技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過設(shè)有夾持裝置，可以解決目前階段的掩模夾具存在的諸多不足，解決了在對于不同的掩模需要不同類型的夾具，無法實現(xiàn)一種夾具掩模通用的問題，在夾持不同大小的掩模時無需更換夾具，方便快捷。

附圖說明

圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)俯視圖

圖3為圖1中A處放大圖；

圖4為圖1中B處放大圖。

圖中：1-底座；2-放置臺；3-掩模；4-夾持裝置；5-彈簧；6-滑槽；7-滑塊；8-支桿；9-放置結(jié)構(gòu)；10-固定臺；11-放置槽；12-凹槽；13-夾緊裝置；14-伸縮桿；15-抵塊；16-壓簧；17-斜臺。

具體實施方式