[發(fā)明專利]一種通用掩模夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011196576.1
• 申請日: 2020-10-31
• 公開（公告）號: CN112213928A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發(fā)明（設計）人: 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;楊東海;顧夢星;劉浩
• 申請（專利權）人: 無錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

1.一種通用掩模夾具，包括底座(1)，所述底座(1)上設有放置臺(2)，所述放置臺(2)上設有掩模(3)，其特征在于：所述底座(1)上設有用于夾持不同大小掩模(3)的夾持裝置(4)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述夾持裝置(4)包括彈簧(5)，所述彈簧(5)設有多個，均勻分布在底座(1)上，所述底座(1)上設有滑槽(6)，所述滑槽(6)設有多個，均勻分布在底座(1)上，所述彈簧(5)一端固定在滑槽(6)側壁上，另一端設有滑塊(7)，所述滑塊(7)與滑槽(6)滑動連接，所述滑塊(7)遠離滑槽(6)的一側設有支桿(8)，所述支桿(8)遠離滑塊(7)的一端設有用于放置掩模(3)的放置結構(9)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述放置結構(9)包括固定臺(10)，所述固定臺(10)固定在支桿(8)遠離滑塊(7)的一端上，所述固定臺(10)靠近放置臺(2)的一側設有放置槽(11)，所述放置槽(11)內設有凹槽(12)，所述凹槽(12)內設有用于夾緊掩模(3)的夾緊裝置(13)。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述夾緊裝置(13)包括伸縮桿(14)，所述伸縮桿(14)一端與凹槽(12)頂部固定，另一端設有抵塊(15)，所述伸縮桿(14)上穿設有壓簧(16)，所述壓簧(16)一端固定在凹槽(12)頂部上，另一端與抵塊(15)固定。

5.根據(jù)權利要求3所述的一種通用掩模夾具，其特征在于：所述支桿(8)遠離放置臺(2)的一側設有斜臺(17)。