[發明專利]一種半導體制備用研磨裝置

在審

• 申請號: 202011193550.1
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112355885A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 林淑毜
• 申請（專利權）人: 廣州夕千科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B27/00;B24B55/06;B24B41/00;G01N15/06
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 吳金水

本發明涉及研磨技術領域，且公開了一種半導體制備用研磨裝置，包括研磨架本體，所述研磨架本體的底部內壁固定連接有兩組第一液壓缸，兩組所述第一液壓缸的頂端均固定連接有移動板，所述移動板的上表面設置有第一電機架，所述第一電機架的內部設置有第一電機。該半導體制備用研磨裝置，通過研磨架本體對支撐柱施加一個向下的力，支撐柱帶動限位板向下移動，限位板向下擠壓彈簧，利用彈簧的彈性，對裝置進行減震，同時限位板的尺寸與放置塊的尺寸相適配，放置塊對限位板的移動起到了限位作用，提高了裝置的穩定性，通過墊板是橡膠板，利用橡膠板的彈性，使得第二固定板與地面接觸到時，減緩沖擊力。

技術領域

本發明涉及研磨技術領域，具體為一種半導體制備用研磨裝置。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯。在半導體制造中，需要對半導體材料進行研磨，因此，需要使用到研磨裝置，現有的研磨機夾緊效果差，在研磨裝置對半導體材料研磨時，由于研磨裝置夾緊效果差，容易造成半導體材料出現滑動的狀況，從而影響了研磨拋光機對半導體材料研磨。

在中國專利公告號CN210909501U中公開了一種半導體材料研磨加工裝置，該半導體材料研磨加工裝置，通過簡單的下壓調節桿一端即可實現研磨輪的移動，從而方便快速的進行打磨作業，使裝置的操作更加簡單，通過夾持機構，提高研磨的穩定性，但是這種方式存在很大的缺陷：需要人工手動操作，提高了人工成本，降低了工作效率。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種半導體制備用研磨裝置，用以解決背景技術中提出的需要人工手動操作，提高了人工成本，降低了工作效率。

(二)技術方案

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種半導體制備用研磨裝置，包括研磨架本體，所述研磨架本體的底部內壁固定連接有兩組第一液壓缸，兩組所述第一液壓缸的頂端均固定連接有移動板，所述移動板的上表面設置有第一電機架，所述第一電機架的內部設置有第一電機，所述第一電機的輸出端與轉軸的頂端固定連接，所述轉軸的底端穿過移動板與研磨輪固定連接，所述研磨架本體的底部內壁固定連接有兩組固定塊，所述固定塊的前后兩側分別固定連接有兩組第二液壓缸，所述第二液壓缸的輸出端與夾持板的一端固定連接，所述夾持板的另一端固定連接有半導體板，所述研磨架本體的底部固定連接有支撐柱，所述研磨架本體的下表面固定連接有第一固定板，所述第一固定板的左右兩端轉動連接有兩組第一固定軸，所述第一固定軸與轉桿的一端固定連接，所述轉桿的另一端與第二固定軸轉動連接，所述第二固定軸與第二固定板固定連接，所述第二固定板的下表面設置有墊板。

優選地，所述研磨架本體的底部四角分別與四組支撐柱頂端固定連接，所述支撐柱的底端與限位板的上表面固定連接，所述限位板的下表面與彈簧的頂端固定連接，所述彈簧的底端與放置塊的底部內壁固定連接，所述放置塊的內部設置有第一槽，所述第一槽的寬度與限位板的寬度相適配，所述第一槽的長度與限位板的長度相適配。

優選地，所述移動板的左右兩側均設置有第二槽，所述第二槽的數量是四組，所述第二槽的兩端與支撐軸的前后兩端固定連接，所述支撐軸與滑輪轉動連接，所述滑輪的數量與第二槽的數量一致，所述研磨架本體的左右兩側內壁分別設置有兩組限位槽，所述限位槽與滑輪滑動連接，所述限位槽的寬度與移動板的寬度相適配。

優選地，所述墊板的上表面與第二固定板的下表面固定連接，所述墊板的尺寸與第二固定板的尺寸相適配，所述墊板是橡膠板。

優選地，所述移動板的上表面與第一電機架的下表面固定連接，所述第一電機架是開口向上的U形結構，所述第一電機架與第一電機固定連接。