[發(fā)明專利]一種多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011192815.6
• 申請(qǐng)日: 2020-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112509963A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋運(yùn)運(yùn);張昕;孫正斌;劉勛;裴亞星;劉猛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;G01N7/10;G01N15/08
• 代理公司: 鄭州聯(lián)科專利事務(wù)所(普通合伙) 41104
• 代理人: 蔡艷

本發(fā)明屬于真空吸盤(pán)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法。所述多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置，包括包括真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器有三個(gè)接口，分別連接第一連接管、第二連接管和第三連接管，第一連接管的末端與壓縮空氣過(guò)濾減壓閥相連接，第二連接管的末端與大氣相通，第三連接管的末端與多孔真空吸盤(pán)的抽氣孔相連接；第三連接管上連接有電子壓力計(jì)；壓縮空氣過(guò)濾減壓閥通過(guò)第四連接管和空氣壓縮機(jī)相連接。采用本發(fā)明的檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法能夠很好并準(zhǔn)確的檢測(cè)多孔真空吸盤(pán)的自潔性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于真空吸盤(pán)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片制程中，多孔真空吸盤(pán)作為固定各類晶圓片的承載工具，目前被廣泛地使用。傳統(tǒng)的多孔真空吸盤(pán)采用機(jī)械打孔的方式造孔，該類多孔真空吸盤(pán)雖然不易堵塞和粘污，但由于機(jī)械打孔的局限性，導(dǎo)致無(wú)法量產(chǎn)孔徑小于500um的吸盤(pán)，因此無(wú)法吸附厚度薄于100um的晶圓片。目前流行的多孔真空陶瓷吸盤(pán)，其多孔吸附區(qū)域采用堆積成孔的方式，利用冷壓或熱壓成型以及高溫?zé)Y(jié)制造多孔陶瓷吸附板。該類吸盤(pán)理論上可實(shí)現(xiàn)任意大小的氣孔，且氣孔率可調(diào)，但該類吸盤(pán)的多孔金屬吸附板，由于內(nèi)部縱橫交錯(cuò)的貫通孔結(jié)構(gòu)，實(shí)際使用過(guò)程中容易堵塞和沾污，且物理超聲以及化學(xué)試劑清洗，效果并不明顯；同時(shí)由于多孔陶瓷吸附板硬度大，晶圓吸附過(guò)程中容易產(chǎn)生劃傷；并且該類吸盤(pán)售價(jià)較高，短時(shí)間內(nèi)定期更換吸盤(pán)在較大程度上增加企業(yè)成本，造成資源浪費(fèi)。

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中各類真空吸盤(pán)存在的問(wèn)題，需要提供一種自潔性多孔真空吸盤(pán)，那么如何對(duì)多孔真空吸盤(pán)的自潔性進(jìn)行檢測(cè)以及與現(xiàn)有的吸盤(pán)自潔性進(jìn)行比較，需要設(shè)計(jì)專有的檢測(cè)裝置和方法。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置。該檢測(cè)裝置能夠很好并準(zhǔn)確的檢測(cè)多孔真空吸盤(pán)的自潔性能。

本發(fā)明還提供了自潔性多孔真空吸盤(pán)自潔性的檢測(cè)方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種多孔真空吸盤(pán)的自潔性檢測(cè)裝置，包括真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器有三個(gè)接口，分別連接第一連接管、第二連接管和第三連接管，第一連接管的末端與壓縮空氣過(guò)濾減壓閥相連接，第二連接管的末端與大氣相通，第三連接管的末端與多孔真空吸盤(pán)的抽氣孔相連接；第三連接管上連接有電子壓力計(jì)。

優(yōu)選的，還包括空氣壓縮機(jī)；壓縮空氣過(guò)濾減壓閥通過(guò)第四連接管和空氣壓縮機(jī)相連接（即壓縮空氣過(guò)濾減壓閥的另一端與第四連接管相連，第四連接管的末端與空氣壓縮機(jī)相連接）。

采用上述自潔性檢測(cè)裝置檢測(cè)多孔真空吸盤(pán)自潔性的方法，包括以下步驟：

1）所述多孔真空吸盤(pán)的多孔金屬吸附板上表面設(shè)有第一塑料膜，然后在帶有第一塑料膜的多孔金屬吸附板上套設(shè)壓環(huán)，接著在第一塑料膜上開(kāi)設(shè)若干大小一致的孔，最后在所有孔上貼第二塑料膜以蓋住孔，所有孔構(gòu)成測(cè)試區(qū)域；

2）將其中一個(gè)孔上方的第二塑料膜揭開(kāi)，其余非測(cè)試區(qū)域上端的孔仍需密封，然后讀取電子壓力計(jì)的示數(shù)，采用同樣的方式依次測(cè)量其他測(cè)試區(qū)域，最后計(jì)算所有測(cè)試區(qū)域負(fù)壓的平均值P₁；

3）采用循環(huán)抽水工裝將步驟1）的多孔真空吸盤(pán)固定，所述循環(huán)抽水工裝置于裝有復(fù)合鍍液的盛水槽中；所述循環(huán)抽水工裝由底座、設(shè)于底座側(cè)壁的氣動(dòng)接頭、抽水泵以及連接管組成；所述底座上表面的中部設(shè)有向上延伸的凸臺(tái)，所述連接管將抽水泵與氣動(dòng)接頭連接；凸臺(tái)和底座的內(nèi)部設(shè)有抽水通道，所述抽水通道由凸臺(tái)頂部依次向下向氣動(dòng)接頭處延伸，且與連接管和抽水泵相連通；

在盛水槽中裝硅粉與水的混合液，其中，硅粉的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5-10%，硅粉粒度是1-50um；液體排出流量10L/min，抽水時(shí)間10-30min，此時(shí)硅粉會(huì)隨著液體流動(dòng)，進(jìn)入多孔金屬吸附板內(nèi)部孔道結(jié)構(gòu)中以及基座內(nèi)部的溝槽以及抽氣孔；