[發明專利]一種多孔真空吸盤的自潔性檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請號: 202011192815.6
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112509963A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 宋運運;張昕;孫正斌;劉勛;裴亞星;劉猛
• 申請（專利權）人: 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;G01N7/10;G01N15/08
• 代理公司: 鄭州聯科專利事務所(普通合伙) 41104
• 代理人: 蔡艷

1.一種多孔真空吸盤的自潔性檢測裝置，其特征在于，包括真空發生器，所述真空發生器有三個接口，三個接口分別與第一連接管、第二連接管和第三連接管相連，第一連接管的末端與壓縮空氣過濾減壓閥相連接，第二連接管的末端與大氣相通，第三連接管的末端與多孔真空吸盤的抽氣孔相連接；第三連接管上連接有電子壓力計。

2.根據權利要求1所述多孔真空吸盤的自潔性檢測裝置，其特征在于，還包括空氣壓縮機；所述壓縮空氣過濾減壓閥通過第四連接管和空氣壓縮機相連接。

3.采用權利要求1-2任一所述自潔性檢測裝置檢測多孔真空吸盤自潔性的方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）所述多孔真空吸盤的多孔金屬吸附板上表面設有第一塑料膜，然后在帶有第一塑料膜的多孔金屬吸附板上套設壓環，接著在第一塑料膜上開設若干大小一致的孔，最后在所有孔上貼第二塑料膜以蓋住孔，所有孔構成測試區域；

2）將其中一個孔上方的第二塑料膜揭開，其余非測試區域上端的孔仍需密封，然后讀取電子壓力計的示數，采用同樣的方式依次測量其他測試區域，最后計算所有測試區域負壓的平均值P₁；

3）采用循環抽水工裝將步驟1）的多孔真空金屬吸盤固定，所述循環抽水工裝置于裝有復合鍍液的盛水槽中；所述循環抽水工裝由底座、設于底座側壁的氣動接頭、抽水泵以及連接管組成；所述底座上表面的中部設有向上延伸的凸臺，所述連接管將抽水泵與氣動接頭連接；凸臺和底座的內部設有抽水通道，所述抽水通道由凸臺頂部依次向下向氣動接頭處延伸，且與連接管和抽水泵相連通；

在盛水槽中裝硅粉與水的混合液，其中，硅粉的質量分數為5-10%，硅粉粒度是1-50um；液體排出流量10L/min，抽水時間10-30min，此時硅粉會隨著液體流動，進入多孔金屬吸附板內部孔道結構中以及基座內部的溝槽以及抽氣孔；

4）將多孔真空金屬吸盤從循環抽水工裝上取下來，依次將相應測試區域上方的第二塑料膜揭開，讀取電子壓力計的示數，計算所有測試區域負壓的平均值P₂，利用?P=P₂－P₁作為判定多孔真空吸盤自潔性能的評價指標，其中?P越小，說明真空吸盤自潔性能越好。

4.根據權利要求3所述檢測多孔真空吸盤自潔性的方法，其特征在于，進入第一連接管的壓縮空氣壓力為0.6MPa。

5.根據權利要求3所述檢測多孔真空吸盤自潔性的方法，其特征在于，所述第一塑料膜為紫外光固化塑料膜，第二塑料膜為膠帶。

6.根據權利要求3所述檢測多孔真空吸盤自潔性的方法，其特征在于，將凸臺伸入多孔真空金屬吸盤的抽氣孔中以固定多孔真空金屬吸盤。