[發明專利]一種冷光源曝光機

在審

• 申請號: 202011192267.7
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112180694A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 李健兒;馮永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕軒
• 申請（專利權）人: 四川上特科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務所(普通合伙) 51217
• 代理人: 王小艷

一種冷光源曝光機，包括支架、載片臺、曝光機構和豎向調節機構，載片臺水平固定于支架的下端，豎向調節機構用于調節曝光機構的高度，曝光機構包括紫外燈源、多面鏡組、反光鏡組、機械快門和罩殼，多面鏡組和反光鏡組均置于罩殼內，多面鏡組包括若干呈環形均勻緊密布置的反光片，紫外燈源置于多面鏡組的中心點位置處，反光鏡組包括第一反光鏡和第二反光鏡，第一反光鏡與第二反光鏡平行對峙布置、并與水平方向呈夾角45°布置，第一反光鏡置于紫外燈源正下方，機械快門橫置于第一反光鏡和第二反光鏡之間，第二反光鏡正下方還設有準直鏡。其避免了曝光機載片臺上熱面積累積，提高了曝光效率，大大降低了紫外光的能量衰減，擴大了曝光面積。

技術領域

本發明涉及曝光機技術領域，具體而言，涉及一種冷光源曝光機。

背景技術

普通曝光機采用汞燈光源，由于汞燈光源功率過大，容易造成熱面積累積，對曝光機造成較大損耗，且普通曝光機對光源和凸鏡之間的距離調節不便，影響曝光效果。對此，CN209433181U公開了一種單面冷光源曝光機，包括支架、載片臺、凸鏡、機械式快門和LED紫外光源，載片臺水平固定在所述支架的下端，LED紫外光源固定在所述支架的上端，該LED紫外光源的光線依次穿過水平固設在支架上的機械式快門和凸鏡照射在載片臺上。且凸鏡采用雙平凸鏡組。

而當紫外光透過玻璃鏡片時，存在光能大大地被吸收，需要進行改進。

發明內容

本發明的目的包括提供一種冷光源曝光機，其避免了曝光機載片臺上熱面積累積，提高了曝光效率，大大降低了紫外光的能量衰減，擴大了曝光面積。

本發明的實施例通過以下技術方案實現：

一種冷光源曝光機，包括支架和載片臺，載片臺水平固定于支架的下端，該冷光源曝光機還設有曝光機構和豎向調節機構，豎向調節機構用于調節曝光機構的高度，豎向調節機構配置有豎向分布的距離調節尺，距離調節尺豎向安裝于支架，曝光機構包括紫外燈源、多面鏡組、反光鏡組、機械快門和罩殼，多面鏡組和反光鏡組均置于罩殼內，多面鏡組包括若干呈環形均勻緊密布置的反光片，紫外燈源置于多面鏡組的中心點位置處，反光鏡組包括第一反光鏡和第二反光鏡，第一反光鏡與第二反光鏡平行對峙布置、并與水平方向呈夾角45°布置，第一反光鏡置于紫外燈源正下方，機械快門橫置于第一反光鏡和第二反光鏡之間，第二反光鏡正下方還設有準直鏡。

優選地，支架還設有散熱器，散熱器用于曝光機構散熱。

優選地，豎向調節機構包括豎向布置的電控液壓桿，電控液壓桿固定安裝于支架，電控液壓桿的活動端與曝光機構連接。

優選地，第二反光鏡的反射面面積大于第一反光鏡的反射面面積設置。

優選地，多面鏡組設有鏡座，鏡座設有鏡盤和壓圈，壓圈置于鏡盤與反光片之間，反光片依次緊密環行呈圈放置于鏡盤內。

優選地，多面鏡組的反光片沿豎直方向劃分成多層分布，其中每層均設有若干反光片呈環形均勻緊密布置，紫外燈源置于多面鏡組的中心點位置處。

優選地，紫外燈源發出的弧光通過多面鏡組的反光片，形成多點光源，投射至準直鏡，準直鏡的物距重合在紫外燈源的發光弧點上，后經準直鏡匯聚。

優選地，紫外燈源配置有燈架，燈架固定安裝于罩殼內。

優選地，罩殼設有導向柱，導向柱沿豎直方向分布，導向柱一端固定連接支架，罩殼設有豎向分布的導向孔，導向柱活動穿設導向孔。

本發明實施例的技術方案至少具有如下優點和有益效果：

1、使用紫外燈源替換傳統使用的汞燈光源，避免了曝光機載片臺上熱面積累積；

2、設置豎向調節結構，配合曝光機構使用，提高了曝光效率；