[發(fā)明專利]一種高效沉積派瑞林膜層的方法

在審

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• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號(hào): CN112795901A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉萬滿;閔杰;陳建軍
• 申請（專利權(quán)）人: 夏禹新材料（深圳）有限公司;深圳清華大學(xué)研究院
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 重慶百潤洪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50219
• 代理人: 郝艷平

本發(fā)明涉及派瑞林鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種高效沉積派瑞林膜層的方法，包括以下步驟：第一步：設(shè)置一個(gè)以上的蒸發(fā)室、一個(gè)以上的裂解室、一個(gè)鍍膜腔室以及一個(gè)真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)；第二步：將派瑞林原材料投入蒸發(fā)室，將蒸發(fā)室與裂解室升溫；第三步：利用真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)對蒸發(fā)室、裂解室及鍍膜腔室進(jìn)行抽氣；第四步：將蒸發(fā)室繼續(xù)升溫，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控蒸發(fā)室與裂解室之間的壓力值；第五步：在鍍膜過程中，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控鍍膜腔室內(nèi)的壓力值、蒸發(fā)室與裂解室之間的壓力值、裂解室與鍍膜腔室之間的壓力值，控制多套蒸發(fā)室以及裂解室的升溫、降溫速率；本發(fā)通過增加蒸發(fā)室與裂解室的數(shù)量，可有效提升派瑞林膜層的沉積速率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及派瑞林鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高效沉積派瑞林膜層的方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的制備派瑞林膜層的方法大致如下：在真空環(huán)境下，固體的派瑞林原材料在蒸發(fā)室內(nèi)加熱后升華為氣體，在壓差的作用下氣化的派瑞林原材料向裂解室方向移動(dòng)，并在裂解室高溫作用下發(fā)生裂解反應(yīng)，裂解后的派瑞林氣體進(jìn)入鍍膜腔室內(nèi)發(fā)生聚合反應(yīng)形成防水膜層。

現(xiàn)有設(shè)備的設(shè)計(jì)都是采用1套蒸發(fā)室+1套裂解室+1套鍍膜腔室+1套真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)的模式。由于裂解室處理效率有限，因此高分子物質(zhì)在鍍膜腔室內(nèi)聚合的速度較為緩慢。如果提高蒸發(fā)室的溫升速率，則高分子有機(jī)材料可能在裂解室內(nèi)不能充分裂解，在鍍膜腔室內(nèi)聚合時(shí)就可能會(huì)出現(xiàn)膜層發(fā)白、組織缺陷多無法達(dá)到相應(yīng)的防護(hù)要求等一系列問題。

發(fā)明內(nèi)容

為解決背景技術(shù)中提到的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種高效沉積派瑞林膜層的方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種高效沉積派瑞林膜層的方法，包括以下步驟：

第一步：設(shè)置一個(gè)以上的蒸發(fā)室、一個(gè)以上的裂解室、一個(gè)鍍膜腔室以及一個(gè)真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)，蒸發(fā)室與裂解室通過管道連通，裂解室與鍍膜腔室通過管道連通，鍍膜腔室和真空獲得系統(tǒng)與冷卻捕集系統(tǒng)通過管道連通，在每個(gè)蒸發(fā)室與裂解室之間設(shè)置第一壓力傳感器，在每個(gè)裂解室與鍍膜腔室之間設(shè)置第二壓力傳感器，在鍍膜腔室上設(shè)置第三壓力傳感器，蒸發(fā)室、裂解室、鍍膜腔室、真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)、第一壓力傳感器、第二壓力傳感器以及第三壓力傳感器均通過計(jì)算機(jī)控制；

第二步：將派瑞林原材料投入一個(gè)或多個(gè)蒸發(fā)室，通過計(jì)算機(jī)控制將蒸發(fā)室預(yù)熱到120℃以下，將裂解室溫度升至500-750℃之間；

第三步：利用真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)對蒸發(fā)室、裂解室及鍍膜腔室進(jìn)行抽氣，壓力抽到1-50mtorr；

第四步：通過計(jì)算機(jī)控制，將裝有派瑞林原材料的蒸發(fā)室內(nèi)的溫度升至 120-200℃之間，經(jīng)蒸發(fā)室加熱，固體的派瑞林原材料在蒸發(fā)室內(nèi)升華為氣體后移向裂解室內(nèi)，在裂解室的高溫作用下發(fā)生裂解反應(yīng)，裂解后的派瑞林氣體進(jìn)入鍍膜腔室發(fā)生聚合反應(yīng)形成防護(hù)膜層，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控蒸發(fā)室與裂解室之間的壓力值；

第五步：在鍍膜過程中，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控鍍膜腔室內(nèi)的壓力值、蒸發(fā)室與裂解室之間的壓力值、裂解室與鍍膜腔室之間的壓力值，控制多套蒸發(fā)室以及裂解室的升溫、降溫速率；

第六步：當(dāng)所有蒸發(fā)室與裂解室之間的壓力值低于設(shè)定停機(jī)壓力值時(shí)，計(jì)算機(jī)控制蒸發(fā)室與裂解室停止加熱，當(dāng)溫度達(dá)到安全值時(shí)設(shè)備自動(dòng)暴大氣并停機(jī)。

進(jìn)一步的，鍍膜腔室和真空獲得與冷卻捕集系統(tǒng)之間安裝有第四壓力傳感器，第四壓力傳感器通過計(jì)算機(jī)控制。

進(jìn)一步的，多個(gè)蒸發(fā)室可連通在一個(gè)裂解室上。

進(jìn)一步的，多個(gè)裂解室可連通在一個(gè)蒸發(fā)室上。

進(jìn)一步的，多個(gè)裂解室可并入一根管道與鍍膜腔室連通。