[發明專利]一種高效沉積派瑞林膜層的方法

在審

• 申請號: 202011191936.9
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112795901A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 劉萬滿;閔杰;陳建軍
• 申請（專利權）人: 夏禹新材料（深圳）有限公司;深圳清華大學研究院
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 50219
• 代理人: 郝艷平

1.一種高效沉積派瑞林膜層的方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步：設置一個以上的蒸發室(1)、一個以上的裂解室(2)、一個鍍膜腔室(3)以及一個真空獲得與冷卻捕集系統(4)，蒸發室(1)與裂解室(2)通過管道連通，裂解室(2)與鍍膜腔室(3)通過管道連通，鍍膜腔室(3)和真空獲得系統與冷卻捕集系統通過管道連通，在每個蒸發室(1)與裂解室(2)之間設置第一壓力傳感器(5)，在每個裂解室(2)與鍍膜腔室(3)之間設置第二壓力傳感器(6)，在鍍膜腔室(3)上設置第三壓力傳感器(7)，蒸發室(1)、裂解室(2)、鍍膜腔室(3)、真空獲得與冷卻捕集系統(4)、第一壓力傳感器(5)、第二壓力傳感器(6)以及第三壓力傳感器(7)均通過計算機控制；

第二步：將派瑞林原材料投入一個或多個蒸發室(1)，通過計算機控制將蒸發室(1)預熱到120℃以下，將裂解室(2)溫度升至500-750℃之間；

第三步：利用真空獲得與冷卻捕集系統(4)對蒸發室(1)、裂解室(2)及鍍膜腔室(3)進行抽氣，壓力抽到1-50mtorr；

第四步：通過計算機控制，將裝有派瑞林原材料的蒸發室(1)的溫度升至120-200℃之間，經蒸發室(1)加熱，固體的派瑞林原材料在蒸發室(1)內升華為氣體后移向裂解室(2)內，在裂解室(2)的高溫作用下發生裂解反應，裂解后的派瑞林氣體進入鍍膜腔室(3)發生聚合反應形成防護膜層，計算機實時監控蒸發室(1)與裂解室(2)之間的壓力值；

第五步：在鍍膜過程中，計算機實時監控鍍膜腔室(3)內的壓力值、蒸發室(1)與裂解室(2)之間的壓力值、裂解室(2)與鍍膜腔室(3)之間的壓力值，控制多套蒸發室(1)以及裂解室(2)的升溫、降溫速率；

第六步：當所有蒸發室(1)與裂解室(2)之間的壓力值低于設定停機壓力值時，計算機控制蒸發室(1)與裂解室(2)停止加熱，當溫度達到安全值時設備自動暴大氣并停機。

2.根據權利要求1所述的一種高效沉積派瑞林膜層的方法，其特征在于，鍍膜腔室(3)和真空獲得與冷卻捕集系統(4)之間安裝有第四壓力傳感器(8)，第四壓力傳感器(8)通過計算機控制。

3.根據權利要求1所述的一種高效沉積派瑞林膜層的方法，其特征在于，多個蒸發室(1)可連通在一個裂解室(2)上。

4.根據權利要求1所述的一種高效沉積派瑞林膜層的方法，其特征在于，多個裂解室(2)可連通在一個蒸發室(1)上。

5.根據權利要求1所述的一種高效沉積派瑞林膜層的方法，其特征在于，多個裂解室(2)可并入一根管道與鍍膜腔室(3)連通。