[發明專利]雙室高效鍍膜機

在審

• 申請號: 202011191560.1
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112281134A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 金誠明;徐鑫;祝海生;孫桂紅;黃樂;黃國興
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 湖南喬熹知識產權代理事務所(普通合伙) 43262
• 代理人: 安曼

1.一種雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述雙室高效鍍膜機包括運輸臺以及鍍膜系統，所述運輸臺與所述鍍膜系統相連通，所述鍍膜系統包括第一處理室以及第二處理室，所述第一處理室與所述運輸臺連通，所述運輸臺用于承載工件并將所述工件傳輸至所述第一處理室中，所述第一處理室遠離所述運輸臺的一側與所述第二處理室相連通，所述第一處理室用于對所述工件進行前處理并將所述工件傳輸至第二處理室中進行鍍膜。

2.根據權利要求1所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述運輸臺包括承載架以及滑動設置在所述承載架上的工件架，所述工件架用于承載所述工件，以帶動通過所述工件架帶動所述工件在所述承載架上滑動。

3.根據權利要求2所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，沿所述運輸臺的長度方向形成有第一工位、第二工位以及第三工位，所述工件架能夠在所述第一工位、所述第二工位以及所述第三工位上流轉，所述第一工位與所述第三工位分設與所述第二工位兩側，第二工位與所述第一處理室相連通。

4.根據權利要求3所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述工件架呈圓形，所述運輸臺還包括驅動電機，所述驅動電機與所述工件架連接，以驅動所述工件架饒其自身軸心旋轉以帶動所述工件做圓周運動。

5.根據權利要求4所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述雙室高效鍍膜機還包括第一阻斷閥和第二阻斷閥，所述第一處理室與所述第三工位之間設有所述第一阻斷閥，所述第一處理室與所述第二處理室之間設有所述第二阻斷閥。

6.根據權利要求5所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述第一處理室外部設有與所述第一處理室的內腔連通的第一安裝倉，所述第二處理室外部設有與所述第二處理室的內腔連通的第二安裝倉，所述第一安裝倉內設有處理裝置，所述第二安裝倉內設有鍍膜裝置。

7.根據權利要求6所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述鍍膜裝置包括至少一對用于對所述工件鍍膜的陰極。

8.根據權利要求7所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述處理裝置為蒸發器、離子源清洗器以及鍍膜裝置中的任一種。

9.根據權利要求8所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述第二處理室的外部還設有與所述第二處理室的內腔連通的電感耦合射頻等離子體激發源。

10.根據權利要求1-9中任一項所述的雙室高效鍍膜機，其特征在于，所述雙室高效鍍膜機還包括真空抽取系統，所述真空抽取系統與所述第一處理室和/或所述第二處理室連通以對應抽取所述第一處理室和所述第二處理室內的氣體。