[發(fā)明專利]樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011189606.6
• 申請(qǐng)日: 2020-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112786461A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齋藤良信
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/56
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/56;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置，其中，

該樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置具有：

載臺(tái)，其具有用于載置粒狀的熱塑性樹(shù)脂的樹(shù)脂載置面；

晶片保持單元，其通過(guò)與該樹(shù)脂載置面面對(duì)的晶片保持面而對(duì)晶片進(jìn)行保持；

上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使該載臺(tái)和該晶片保持單元在與該樹(shù)脂載置面垂直的上下方向上相對(duì)地移動(dòng)；以及

控制單元，

該載臺(tái)包含：

珀?duì)柼渑渲糜谠撦d臺(tái)的內(nèi)部，與該樹(shù)脂載置面平行并且具有靠近該樹(shù)脂載置面的上表面和遠(yuǎn)離該樹(shù)脂載置面的下表面；

直流電源，其向該珀?duì)柼峁┲绷麟娏鳎灰约?/p>

開(kāi)關(guān)，其將提供至該珀?duì)柼脑撝绷麟娏鞯姆较蚯袚Q成對(duì)該珀?duì)柼脑撋媳砻孢M(jìn)行加熱的第1方向和與該第1方向?yàn)橄喾捶较虻膶?duì)該珀?duì)柼脑撋媳砻孢M(jìn)行冷卻的第2方向，

該控制單元對(duì)該開(kāi)關(guān)進(jìn)行控制而使該直流電流在該第1方向上流動(dòng)，從而對(duì)該珀?duì)柼脑撋媳砻孢M(jìn)行加熱，使載置于該樹(shù)脂載置面的該熱塑性樹(shù)脂熔化，在該樹(shù)脂載置面與晶片的一個(gè)面之間將熔化的樹(shù)脂在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開(kāi)，

該控制單元對(duì)該開(kāi)關(guān)進(jìn)行控制而使該直流電流在該第2方向上流動(dòng)，從而對(duì)該珀?duì)柼脑撋媳砻孢M(jìn)行冷卻，使在該樹(shù)脂載置面與晶片的一個(gè)面之間被推開(kāi)的樹(shù)脂硬化，在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上形成保護(hù)部件。