[發明專利]一種多孔真空吸盤及其制備方法

有效

• 申請號: 202011189558.0
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112407936B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 張昕;宋運運;孫正斌;裴亞星;劉勛
• 申請（專利權）人: 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;C04B35/10;C04B38/06;C04B35/48;C04B35/565
• 代理公司: 鄭州聯科專利事務所(普通合伙) 41104
• 代理人: 蔡艷

1.一種多孔真空吸盤，包括多孔吸附部件、封接層以及基座，所述多孔吸附部件通過封接層固定在基座上，基座中部具有貫穿的通孔，其特征在于，所述多孔吸附部件的原料為氧化鋁、氧化鋯、ZTA、碳化硅、氮化硅、氧化鋅、氧化鈦、氧化錫、羥基磷灰石和石英中的一種或兩種以上；多孔吸附部件的原料粒徑為0.1-30μm，含量為20-70vol%，還包括添加劑，添加劑的用量為0.5-8wt%；

所述封接層的材質為陶瓷、玻璃或樹脂，封接層厚度為10-500μm；

所述基座材質為氧化鋁、氧化鋯、ZTA、碳化硅、氮化硅、石英、不銹鋼、鈦合金或鋁合金,所述多孔真空吸盤的制備方法，包括以下步驟：

（1）多孔吸附部件的制備：將溶劑加熱至50-80℃后加入20-70vol%多孔吸附部件的原料制得陶瓷料漿，然后將陶瓷料漿置于球磨機中，進行球磨4-20h，接著倒入模具中成型、脫模，最后于室溫下升華干燥20-48h，再于700-1600℃下高溫燒結，得到多孔吸附部件；

（2）在基座上加工出沉臺、通孔和溝槽，沉臺與多孔吸附部件相適配，并對沉臺表面進行粗化處理和清潔，增加封接面的結合力；

（3）在沉臺表面涂上粘接劑，然后嵌入多孔吸附部件，加壓固化成整體，即得；在步驟（1）中還包括添加劑，添加劑的用量為0.5-8wt%；將溶劑加熱至50-80℃后加入多孔吸附部件的原料和添加劑；所述溶劑為莰烯、叔丁醇或叔丁醇與水的混合液，添加劑為丙三醇、聚乙烯醇、聚乙二醇、聚丙烯酰胺、四甲基氫氧化銨、聚乙烯基吡咯烷酮、甲基纖維素、聚丙烯酸銨、阿拉伯樹膠或改性聚酯；步驟（1）的陶瓷料漿經過球墨后迅速倒入冷卻平臺上的模具中成型，待陶瓷料漿凍結后脫模；冷卻平臺的溫度為（-80）-（-30）℃。

2.根據權利要求1所述多孔真空吸盤，其特征在于，所述模具的底部材質為鋁板、銅板或不銹鋼板，厚度為0.1-20mm；模具邊框的材質為聚氨酯、聚二甲基硅氧烷、尼龍或聚四氟乙烯，邊框厚度為10-100mm。

3.根據權利要求1所述多孔真空吸盤，其特征在于，球磨機轉速100-800r/min。