[發(fā)明專利]加熱腔結(jié)構(gòu)和硅片處理設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011182874.5
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112251737A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 左國軍;梁建軍;候岳明
• 申請（專利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/50;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/67
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰

1.一種加熱腔結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，包括：

加熱腔體(11)，用于提供真空環(huán)境，所述加熱腔體(11)的側(cè)壁(111)上設(shè)有通孔(1121)；

隔離套管(12)，由所述通孔(1121)伸入所述加熱腔體(11)內(nèi)，所述隔離套管(12)的至少一端位于所述加熱腔體(11)外；

加熱器(13)，所述加熱器(13)的發(fā)熱部分設(shè)于所述隔離套管(12)內(nèi)，所述加熱器(13)的引線端由所述隔離套管(12)位于所述加熱腔體(11)外的一端伸出；

連接組件(14)，用于固定所述隔離套管(12)和所述加熱器(13)；

其中，所述隔離套管(12)與所述連接組件(14)使所述加熱腔體(11)的內(nèi)部與所述加熱器(13)以及外部大氣隔離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱腔結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述連接組件(14)包括：

法蘭盤(141)，設(shè)于所述通孔(1121)處，并與所述加熱腔體(11)的側(cè)壁(111)連接，所述法蘭盤(141)套設(shè)于所述隔離套管(12)上，所述法蘭盤(141)的內(nèi)側(cè)壁(111)上設(shè)有密封結(jié)構(gòu)，以對所述通孔(1121)進(jìn)行密封；

第一支架(142)，設(shè)于所述隔離套管(12)位于所述加熱腔體(11)外的一端，所述第一支架(142)分別與所述隔離套管(12)和所述加熱器(13)連接，以對所述隔離套管(12)和所述加熱器(13)進(jìn)行定位，并使所述加熱器(13)與所述隔離套管(12)之間保持非接觸狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱腔結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第一支架(142)包括：

第一管夾(1421)，包括第一夾持部(1422)和第一調(diào)整部(1423)，所述第一夾持部(1422)套設(shè)于所述隔離套管(12)上，所述第一調(diào)整部(1423)用于調(diào)整所述第一夾持部(1422)的尺寸大小，以使所述第一夾持部(1422)夾緊所述隔離套管(12)；

第二管夾(1431)，包括第二夾持部(1432)和第二調(diào)整部(1433)，所述第二夾持部(1432)套設(shè)于所述加熱器(13)上，所述第二調(diào)整部(1433)用于調(diào)整所述第二夾持部(1432)的尺寸大小，以使所述第二夾持部(1432)夾緊所述加熱器(13)；

連接板(1441)，分別與所述第一夾持部(1422)的底部和所述第二夾持部(1432)的底部固定連接，以對所述第一夾持部(1422)和所述第二夾持部(1432)進(jìn)行定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱腔結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，

所述第一夾持部(1422)包括兩個相對設(shè)置的第一弧形板(1424)和一個第一槽形結(jié)構(gòu)(1425)，所述第一調(diào)整部(1423)包括第一鎖緊螺栓(1426)，所述第一槽形結(jié)構(gòu)(1425)設(shè)于兩個所述第一弧形板(1424)的底部，且所述第一槽形結(jié)構(gòu)(1425)的兩個側(cè)板分別與兩個所述第一弧形板(1424)連接，所述第一鎖緊螺栓(1426)穿過所述第一槽形結(jié)構(gòu)(1425)的兩個側(cè)板，用于調(diào)整兩個所述第一弧形板(1424)之間的間距，以使兩個所述第一弧形板(1424)夾緊所述隔離套管(12)；

所述第二夾持部(1432)包括兩個相對設(shè)置的第二弧形板(1434)和一個第二槽形結(jié)構(gòu)(1435)，所述第二調(diào)整部(1433)包括第二鎖緊螺栓(1436)，所述第二槽形結(jié)構(gòu)(1435)設(shè)于兩個所述第二弧形板(1434)的底部，且所述第二槽形結(jié)構(gòu)(1435)的兩個側(cè)板分別與兩個所述第二弧形板(1434)連接，所述第二鎖緊螺栓(1436)穿過所述第二槽形結(jié)構(gòu)(1435)的兩個側(cè)板，用于調(diào)整兩個所述第二弧形板(1434)之間的間距，以使兩個所述第二弧形板(1434)夾緊所述加熱器(13)；

所述連接板(1441)通過固定螺栓(1442)分別與所述第一槽形結(jié)構(gòu)(1425)的底板以及所述第二槽形結(jié)構(gòu)(1435)的底板固定連接。